Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Исследование факторов, определяющих анизотропность ионно-лучевого травления напыленного слоя индия
- Авторы
- Климанов Евгений Алексеевич orion@orion-ir.ru, главный научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Седнев Михаил Васильевич orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Болтарь Константин Олегович orion@orion-ir.ru, начальник НТК, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9. Тел. (495) 374-81-30
Мезин Юрий Сергеевич orion@orion-ir.ru, ведущий инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
Шаронов Юрий Павлович orion@orion-ir.ru, ведущий инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИЯ
- Ключевые слова
- ионно-лучевое травление / индий / микроконтакт / фотоприемник
- Год
- 2012 номер журнала 1 Страницы 90 - 93
- Индекс УДК
- УДК 621.315.51
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведено исследование факторов, влияющих на процесс ионно-лучевого травления пленок индия толщиной 5-12 мкм с маской фоторезиста для формирования микроконтактов БИС считывания и матриц фоточувствительных элементов в технологии матричных инфракрасных фотоприемников. При определенных условиях остаются недотравленные области индия конусообразной формы. Обсуждается влияние переосаждения распыленного материала, взаимодействие индия с фоторезистивной маской и профиля фоторезиста на окончательную форму травления.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Kaminsky M. Atomic and Impact Phenomena on Metal Surfaces. - New York: Academic, 1965.
Gloersen Per G. // J. Vac. Sci. Technol. 1975. V. 12 . P. 28.
Болтарь К. О., Корнеева М. Д., Мезин Ю. С., Седнев М. В.// Прикладная физика. 2011. № 1. С. 96.
- Купить
- 100.00 руб