Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- АНАЛИТИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ИНТЕНСИВНОСТИ ГЕНЕРАЦИИ ЗАГРЯЗНЯЮЩИХ ЧАСТИЦ ПРИ УСТАНОВКЕ И СЪЕМЕ ТРАНСПОРТИРУЕМЫХ ОБЪЕКТОВ В ПАССИКОВОМ АГРЕГАТЕ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ ЭЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
- Авторы
- Гребенкин В. З. , д-р техн. наук, проф, ,
Аккулов Р. И. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 3 Страницы 65 - 69
- Индекс УДК
- УДК 628.8:621.3.049.77.02
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведена оценка интенсивности выделения частиц изнашивания в контакте опорной поверхности транспортируемых объектов при их установке/съеме на подвижные ветви пассиковых агрегатов ГАЛ. Получены зависимости для расчета интенсивности генерации загрязняющих частиц в парах трения "пассик-транспортируемый объект".
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Гребенкин В. З., Громов В. В., Осипова С. Д. и др. Транспортирующие устройства для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин при производстве СБИС//Электронная промышленность. 1988. № 10. С. 24-26.
Гребенкин В. З., Редин В. М., Сахаров Е. А. и др. Исследование пылегенерации кинематическими парами в транспортирующих устройствах ГАЛ при межоперационных перемещениях полупроводниковых пластин: Сб. науч. тр. "Обеспечение и контроль чистых помещений и технологических сред в производстве изделий микро- и радиоэлектроники" / Под ред. И. Г. Блинова. - М.: МИЭТ, 1989. С. 73-80.
Крагельский И. В., Непомнящий Е. Ф., Харач. Г. М. Усталостный механизм и краткая методика аналитической оценки величины износа поверхностей трения при скольжении (исходя из свойств материалов и условий их работы). - М.: АН СССР, 1967. - 19 с.
Крагельский И. В., Добычин М. Н., Комбалов В. С. Основы расчетов на трение и износ. - М.: Машиностроение, 1977. - 526 с.
Прочность. Устойчивость. Колебания: Справочник в 3-х томах. Т. 2./Под ред. И. А. Биргера и Я. Г. Пановко. - М.: Машиностроение. 1968. - 465 с.
- Купить
