Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИЗГОТОВЛЕНИЕ РОТОРНОГО УЗЛА МИКРОДВИГАТЕЛЯ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Зотов С. А. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 3 Страницы 92 - 95
- Индекс УДК
- УДК 621:315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Предложена конструкция роторного узла микродвигателя. Описана методика определения параметров процесса анизотропного травления кремния. Для изготовления роторного узла представлена технология "скрытых масок", которая основана на использовании типовых процессов планарной фотолитографии на всех этапах формирования многопрофильной конструкции.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Тимошенков С. П., Калугин В. В., Зотов С. А., Рубчиц В. Г. Разработка процессов получения сложно-профильных чувствительных элементов МЭМС с учетом влияния технологических погрешностей//Тез. докл. 5-й междунар. конф. "Авиация и космонавтика-2006". 23-26 октября 2006 г. - М., С. 203-204.
Тимошенков С. П., Рубчиц В. Г. Моделирование процесса прецизионного травления вибрационной системы датчика угловой скорости//Микросистемная техника, 1992. № 3. С. 3-7.
Тимошенков С. П., Бойко А. Н., Калугин В. В. Особенности герметизации микромеханических приборов//Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ", 2005. № 1. С. 24-28.
- Купить