Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- АКТИВАЦИЯ ПРОЦЕССА ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ НИТРИДА ТИТАНА АТОМАМИ АЗОТА
- Авторы
- Манжа Николай Михайлович , старший научный сотрудник, "Технологический центр" Московского института электронной техники, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- газофазное осаждение нитрида титана активацией атомами азота / активация процесса / газофазное осаждение нитрида титана / пониженное давление / генератор атомарного азота
- Год
- 2010 номер журнала 1 Страницы 88 - 93
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Исследовано влияние атомарного азота на процесс осаждения нитрида титана при пониженном давлении парогазовой смеси. Применение атомарного азота для осаждения нитридизированных металлических слоев позволило снизить температуру их формирования. Сопротивление полученных слоев можно регулировать концентрацией азота в последнем и его толщиной. Нитридизированные металлические слои могут быть использованы в качестве непроникающих контактов к областям транзисторных структур и адгезионных слоев при формировании многослойной разводки СБИС в субмикронной технологии.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Патюков С. И., Петрова В. З., Манжа Н. М. Низкотемпературные методы химического осаждения из паровой фазы слоев нитрида кремния//Зарубежная электронная техника. 1989. Вып. 6(337). С. 63-89.
Amato-Wierda C., Norton Edward T., Wierda Derek A. Low temperature chemical vapor deposition of titanium nitride thin films with hydrazine and tetrakis(dimtthylamido)titanium//Electrochemical and Solid-State Letters. 1999. No. 2(12). P. 613-615.
Мак-Тогарт Ф. Плазмохимические реакции в электрических разрядах: Пер. с анг./Под. ред. И. А. Маслова. - М.: Атомиздат, 1972. С. 50.
Физическая химия быстрых реакций: Пер. с анг./Под. ред. И. С. Заслонко. - М.: Наука, 1976. С. 153.
Образование и стабилизация свободных радикалов/Под ред. А. Басс., Г. Бройда. - М.: Мир, 1973. С. 108
Shiloh M., Qayer B., Brinckman F. E. Preparation of Nitrides by Active Nitroqen//J. Elektrochem Soc. 1977. V. 124. Nо. 2. P. 295-300.
Концов А. Н. Электрические явления в газах и вакууме. - М.-Л.: Гостехиздат, 1977. С. 710.
Зельдович Я. Б., Райзер Ю. П. Физика ударных волн и высокотемпературных газодинамических явлений. - М.: Наука, 1966. С. 686.
Захаров Л. Н., Гусев В. В., Иванов В. И., Блинов И. Г. Получение потока атомов азота//Физика и химия обработки материалов. 1985. № 2. С. 79-84.
А.с. 864604 СССР H 05 Н 03 3/02. Источник атомарного азота/Захаров Л. Н., Петухов В. П. и др. № 2847756/18-25; Заявл. 30.11.1979; Опубл. БИ №34, 1981.
Евдокимов В. Л., Лукьянов Е. В., Манжа Н. М. Локальное осаждение пленок вольфрама для многоуровневой металлизации СБИС//Электронная промышленность. 1991. № 1. С. 52-54.
Евдокимов В. Л., Манжа Н. М., Патюков С. И., Приходько П. С. Формирование силицида титана осаждением из газовой фазы при пониженном давлении//Там же. 1991. № 1. С. 50-52.
Красников Г. Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. - М.: Техносфера, 2004. Ч. 2. С. 147-228.
Эммануэль Н. М., Кноре Д. Г. Курс химической кинетики, 2-е изд. - М.: Высш. шк., 1969. С. 48-51.
- Купить
