Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЭПИТАКСИАЛЬНОГО РЕАКТОРА
- Авторы
- Погалов Анатолий Иванович dtm@miee.ru, д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой "Техническая механика", Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-85-71
Тимофеев Владимир Николаевич dtm@miee.ru, д-р техн. наук, профессор, Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-85-71
Кравченко Анатолий Анатольевич , канд. техн. наук; ассистент кафедры "Техническая механика", Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-85-71
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- моделирование / разработка / газодинамические характеристики / эпитаксиальный реактор / щелевой реактор / диффузор / подложкодержатель
- Год
- 2013 номер журнала 4 Страницы 14 - 17
- Индекс УДК
- 621.793.162:[621.793.06:004.94]
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты компьютерного моделирования газодинамических характеристик потока в эпитаксиальном реакторе. Рассмотрены три типа реакторов: призматический, диффузорный и с удлиненным подложкодержателем. Разработаны научно-технические рекомендации проектирования реактора.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев / В. А. Емель-янов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко. - Минск: Наука, 2007. - 255 с. ISBN 978-985-08-0792-2.
Стрельченко С. С., Матьяш А. А. Кинетика осаждения эпитаксиальных слоев соединений АIIIBV из газовой фазы // Обзоры по эл. технике. Материалы: ЦНИИ "Электроника", 1979. Вып. 8 (678).
SolidWorks 2007/2008 компьютерное моделирование в инженерной практике / Под ред. А. А. Аля-мовского, А. А. Собачкина, Е. В. Одинцова, А. И. Харитоновича, Н. Б. Понамарева. - СПб.: БХВ-Петербург, 2008. С. 219-469.
Тимофеев В. Н., Миркурбанов Х. А., Кравченко А. А., Веревкин Д. В. Сравнительные характеристики газового потока в щелевых реакторах эпитаксиального наращивания призматического и диффузорного типов // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ВИМИ, 2009. № 1. С. 34-39.
- Купить
