Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ СИСТЕМЫ Ge<Si, Sb> С УЧЕТОМ МЕХАНИЗМА КОНЦЕНТРАЦИОННОЙ КОНВЕКЦИИ В РАСПЛАВЕ
- Авторы
- Гончаров В. А. , д-р физ.-мат. наук, доцент, ,
Балдина Н. А. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- метод Бриджмена / микрогравитация / математическое моделирование / коэффициент сегрегации / концетрационная конвекция
- Год
- 2009 номер журнала 3 Страницы 50 - 54
- Индекс УДК
- УДК 53.072: 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлена уточненная математическая модель выращивания полупроводниковых кристаллов, основанная на решении двухфазной задачи Стефана совместно с системой Навье-Стокса в расплаве, учитывающая действие механизма концентрационной конвекции. Моделируются условия известного космического эксперимента по направленной кристаллизации германия, легированного кремнием и сурьмой. Результаты расчетов находятся в количественном согласии с экспериментальными данными.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Нашельский А. Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Мир, 1987. - 336 с.
Иванов Л. И., Земсков В. С., Кубасов В. Н. и др. Плавление, кристаллизация и фазообразование в невесомости. Эксперимент "Универсальная печь" по программе "Союз"-"Аполлон". - М.: Наука, 1979. C. 145.
Белокурова И. Н., Земсков В. С., Хавжу Д. М. Анализ результатов изучения ликвации компонент в легированных кристаллах германия, выращенных направленной кристаллизацией в условиях невесомости и на Земле// Физика и химия обработки материалов. 1990. № 6. C. 71.
Гидромеханика и тепломассообмен в невесомости/ Под ред. В. С. Авдуевского и В. И. Полежаева. - М.: Наука, 1982. - 264 с.
Балдина Н. А., Гончаров В. А., Тананыкин А. А. Неоднородность примеси в полупроводниковых кристаллах, выращенных в космических условиях методами направленной кристаллизации// Известия вузов. Электроника. 2007. № 6. C. 3-10.
Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. - М.: Изд-во МГУ, 1999. C. 277.
Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник. В 3 т. Т. 2/ Под общ. ред. Н. П. Лякишева. - М.: Машиностроение, 1997. - 1024 с.
Гончаров В. А., Марков Е. В. Численная схема моделирования задач термоконвекции// Журн. вычислит. математики и матем. физики. 1999. Т. 39. № 1. C. 87.
Гончаров В. А. Об одном методе решения задачи Стефана в двухфазной области с неплоской границей// Там же. 2000. Т. 40. № 11. C. 1706.
Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция и неоднородности. - М.: Мир, 1991. - 143 с.
- Купить
