Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ И СВОЙСТВ СЛОЕВ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ОКИСЛЕНИЕМ ДИХЛОРСИЛАНА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ
- Авторы
- Манжа Н. М. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- процесс осаждения / слои диоксида кремния / дихлорсилан / закись азота / бимолекулярная реакция / исследование слоев диоксида кремния
- Год
- 2009 номер журнала 3 Страницы 59 - 65
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Исследована кинетика осаждения слоев нитрида кремния аммонолизом дихлорсилана при пониженном давлении в интервале температур осаждения 973-1173 К и давлений в реакторе 10-130 Па. На основе бимолекулярной реакции взаимодействия дихлорсилана с аммиаком и экспериментальной скорости роста рассчитана константа равновесия скорости формирования слоев нитрида кремния, при использовании которой расчетные значения кажущейся энергии активации совпадают с экспериментальными значениями. Представлены практические рекомендации по улучшению качества слоев нитрида кремния.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Евдокимов В. Л., Манжа Н. М., Патюков С. И. Осаждение диоксида кремния и фосфорно-силикатного стекла в реакторе с распределенной подачей реагентов на установке "Изотрон-1"// Электронная промышленность. 1986. Т. 2(31). С. 24-26.
Кокин В. Н., Манжа Н. М. и др. Оптимальные условия получения высококачественных пленок нитрида кремния при пониженном давлении// Там же. С. 26-28.
Rosler R. S. Low pressure CVD production proceses for poly, nitride, and oxide// Solid-State Technolgy. 1977. V. 20. Nо. 4. Р. 63-70.
Манжа Н. М. Влияние конструктивных факторов реакторов пониженного давления на неоднородность свойств осаждаемых слоев// Известия вузов. Электроника. 2004. № 2. С. 23-28.
Манжа Н. М., Нечипоренко А. П. Осаждение пленок поликристаллического кремния в реакторах пониженного давления// Электронная промышленность. 2000. № 3. С. 56-60.
Манжа Н. М., Манжа М. Н., Манжа О. Н. Диоксид кремния, полученный пиролизом. Влияние термических отжигов на его свойства// Там же. 2002. № 4. С. 24-29.
- Купить
