Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- АНАЛИЗ РЕШЕНИЙ УРАВНЕНИЙ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПАССИКОВОГО АГРЕГАТА ДЛЯ МЕЖОПЕРАЦИОННЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
- Авторы
- Гребенкин В. З. , д-р техн. наук, проф, ,
Аккулов Р. И. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 4 Страницы 45 - 54
- Индекс УДК
- УДК 628.8:621.3.049.77.02
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены решения дифференциальных уравнений движения, их анализ при задании различных форм внешней нагрузки на ветвях пассикового агрегата от перемещаемых полупроводниковых пластин и других транспортируемых объектов. Указанные решения и анализ необходимы для рационального проектирования межоперационных транспортирующих устройств микроэлектроники.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Гребенкин В. З., Редин В. М., Сахаров Е. А. и др. Расчет и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники по критерию привносимой дефектности. Материалы 3-й научно-технической конференции "Экология микроэлектроники-90"/Под ред. д-ра техн. наук проф. В. З. Гребенкина. - М.: МИЭТ, 1990. - 113 с.
Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. - М.: Наука, 1977. - 831 с.
Тимошенко С. П. Сопротивление материалов в 2-х томах. - М.: Наука, 1965. Т. 2. - 480 с.
- Купить
