Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ПИРОЛИЗНЫЕ СЛОИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, МОДИФИЦИРОВАННЫЕ ОТЖИГОМ В ТРИХЛОРЭТИЛЕНЕ С КИСЛОРОДОМ, В СУБМИКРОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ
- Авторы
- Манжа Н. М. , , ,
Сауров А. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 3 Страницы 42 - 46
- Индекс УДК
- УДК 621.7.014.2
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлено исследование свойств пиролизных слоев диоксида кремния, сформированного пиролизом тетраэтилортосиликата (ТЭОС) модификацией в трихлорэтилене с кислородом и без модификации. В результате указанного исследования выявлено влияние модифицированных пиролизных слоев диоксида кремния на выход годных КМОП ИС. Показана перспективность их использования в технологии изготовления интегральных схем на подложках КНД (кремний на диэлектрике).
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Даниелян В. С., Евдокимов В. Л., Манжа Н. М., Патюков С. И. Вакуумно-пиролитическое осаждение слоев окисла кремния из тетраметоксилана. Тезисы докладов конференции. Тонкие пленки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем//Микроэлектроника. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1986. Сер. 3. Вып. 4 (234). С. 160.
Манжа Н. М., Манжа О. Н. Диоксид кремния, полученный пиролизом//Электронная промышленность. 2002. № 4. С. 24-29.
Манжа Н. М., Черняев М. В., Титов А. Г. Термическое окисление кремния в трихлорэтилене//Там же. 1994. № 1. С. 69-71.
Красников Г. Я. Проблемы однородности свойств системы Si-SiO2 субмикронной технологии// Электронная техника. Микроэлектроника. 1996. Сер. 3. № 1. С. 68-70.
Пат. 2185686 РФ, МПК7 H 01 L 21/8238. Способ изготовления интегральных схем на КМОП-транзисторах/Манжа Н. М. и др. Заявитель ОАО "НИИМЭ и завод Микрон" №2000106316/28; Заявл. 16.03.2000; Опубл. БИ № 20, 2000.
Красников Г. Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзис-торов. Ч. 1. "Техносфера". - М., 2002. С. 11-14.
- Купить
