Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ГРАВИТАЦИОННЫЙ ПРОГИБ ПОДЛОЖЕК В ГОРИЗОНТАЛЬНОМ РЕАКТОРЕ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ УСТАНОВОК
- Авторы
- Сажнев С. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 3 Страницы 46 - 50
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведены аналитические и экспериментальные исследования гравитационного прогиба подложек с различными способами укладки в гнездо подложкодержателя горизонтального эпитаксиального реактора. Представлены формулы расчета гравитационного прогиба. Дано сравнение экспериментальных и расчетных значений прогиба для рассматриваемых способов укладки. Определены пути регулирования гравитационного прогиба.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Петров С. В., Прокопьев Е. П., Белоусов В. С. Опытно-промышленная эпитаксия кремния: Новая аналитическая модель//Петербургский журнал электроники. 1996. № 1 (10). С. 29-40.
Сажнев С. В., Миркурбанов Х. А., Тимофеев В. Н. Состояние проблемы разработки эпитаксиальных установок//Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ", 2003. № 4. С. 43-45.
Макушин М. В. Заводы по обработке пластин диаметром 300 мм. Переход от опытного к массовому производству//Зарубежная электронная техника. - М.: ЦНИИ Электроника, 2000. Вып. 4. С. 3-15.
Сажнев С. В., Тимофеев В. Н., Миркурбанов Х. А. Механизм формирования полос скольжения в полупроводниковых пластинах при высокотемпературной обработке//Материаловедение. - М., 2004. № 2. С. 32-35.
Каблуков А. В., Кандыба П. Е., Самойликов В. К. Моделирование устройств ИК-нагрева для обработки подложек большого диаметра/Сб. "Научные основы технологий, материалов, приборов и систем электронной техники". - М.: МИЭТ, 2002. - 250 с.
Бояршинов С. В. Основы строительной механики машин. - М.: Машиностроение, 1973. - 450 с.
- Купить
