Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ВОЗМОЖНАЯ СТОХАСТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ НЕРАВНОВЕСНЫХ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ ПРИ ПРОТЕКАНИИ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ В АНСАМБЛЯХ ДЕФЕКТОВ КРЕМНИЯ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Тимошенков Ал. С. , , ,
Бритков О. М. , , ,
Тимошенков Ан. С. , , ,
Бритков И. М. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 1 Страницы 35 - 37
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- В порядке дискуссионного обсуждения дается стохастический анализ поведения междоузельных атомов бора и фосфора в ансамбле дефектов кремния, концентрация которых претерпевает фазовый переход вдали от равновесия в более упорядоченное состояние. Это дает возможность в принципе выбирать оптимальные условия получения и эксплуатации БИС СБИС, МОП-приборов и различных полупроводниковых приборов на основе кремния. Особое значение данный подход может иметь для современных нанотехнологий микроэлектроники, позволяющий прогнозировать и создавать наноструктуры со стоками междоузельных атомов кремния и легирующих примесей.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Прокопьев Е. П. О геттерировании и синергетическом подходе в проблеме кремния// МИЭТ. - М., 1991. - 71 с. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. № 2886-В91.
Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. - М.: Мир, 1979. - 517 с.
McNeil K. J., Walls D. F.// J. Stat. Phys. 1974. V. 10. № 6. Р. 439-448.
Хакен Г. Синергетика. - М.: Мир, 1980. - 404 с.
Schlögl F.// Zs. Phys. 1972. V. 253. № 1. P. 147-161.
Чаплыгин Ю. А., Суворов А. Л., Тимошенков С. П., Петрова В. З., Графутин В. И., Прокопьев E. П. Возможные синергетические подходы к исследованиям эволюции свойств структур кремний на диэлектрике и проблемы их надежности и качества: В кн. Надежность и качество// Труды междунар. симп./Под ред. А. Н. Андреева, В. И. Волчихина, Е. А. Мокрова, А. В. Блинова, Н. К. Юркова, В. А. Трусова. - Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2001. С. 384-389.
Прокопьев Е. П. Возможные синергетические подходы к проблемам радиационной физики материалов.// 4-я Междунар. конф. "Ядерная и радиационная физика". - Алматы, 15-17 сент., 2003: ICNP`03. Т. 2. Радиционная физика твердого тела и проблемы материаловедения. - Изд-во ИЯФ НЯЦ Р.К. 2004. С. 103-133.
- Купить
