Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ЛАЗЕРНО-ТЕРМИЧЕСКИЙ МЕТОД ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ В ГИДРИДНОМ ПРОЦЕССЕ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Тимошенков Ал. С. , , ,
Бритков О. М. , , ,
Тимошенков Ан. С. , , ,
Бритков И. М. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 1 Страницы 41 - 44
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592:541.14
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Получено аналитическое решение задачи скорости роста в технологиях получения материалов электронной техники с использованием лазерно-химических методов осаждения слоев кремния в стационарном и импульсном процессах, лимитируемое процессами разложения силана в адсорбированной фазе. Полученные результаты подтверждают ряд экспериментальных доказательств того, что процессы с участием SiH4, SiCl4, SiHCl3, SiH2Cl2 имеют примерно равные энергии активации, если в качестве буферного газа используется водород, что служит доказательством лимитирующей стадии десорбции водорода.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Prokop'ev E. P. About applications of kinetical Chen theory to photochemical method of silicon deposition in hydride process. - Moscow, 1992. Deposited paper. VINITI. № 2462-B92. P. 48.
Прокопьев Е. П.// ФХОМ. 1994. № 4-5. С. 121-125 (см. также http://www.prokopep.narod.ru).
Богданович Б. Ю., Графутин В. И., Калугин В. В., Нестерович А. В., Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Чаплыгин Ю. А. Технологии и методы исследования структур кремний на изоляторе. - М.: МИЭТ, 2003. - 288 с.
Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Графутин В. И., Калугин В. В.// Материаловедение. 2004. № 5. С. 18-2; № 6. С. 8-12.
Chen C. Yu.// J. Vac. Technol. A. 1987. V. 5. № 6. P. 3386-3398.
Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. Лазерные микротехнологии и их применения в электронике. - М.: Радио и связь, 2001. - 632 с.
Bloem J., Giling L. M.// In: Current Topics in Materials Science. Vol.1. Ed. E. Kaldis. North-Holl. Publ. Comp. 1978. P. 147-342.
- Купить
