Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ХАРАКТЕРИСТИКИ ГАЗОВОГО ПОТОКА В ЩЕЛЕВОМ РЕАКТОРЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ ОДИНОЧНЫХ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШИХ ДИАМЕТРОВ
- Авторы
- Тимофеев В. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Миркурбанов Х. А. , канд. техн. наук, ,
Кравченко А. А. , , ,
Сажнев С. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 3 Страницы 96 - 100
- Индекс УДК
- Удк 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены связь скорости роста эпитаксиального слоя на поверхности подложки со скоростью газового потока, а также результаты расчета характеристик газового потока в реакторе. Даны обобщающие выводы о них в рабочей зоне реактора.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. - М.: Металлургия, 1979. - 408 с.
Бакин Н. Н., Борисенко Л. А. Гетероэпитаксия арсенида галлия на кремнии: Обзоры по электротехнике. Сер. Микроэлектроника. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1989. Вып. 4(472).
Sokai S. New method to relax thermal stress in GaAs grown on Si substrates//Applied Physics Lettozs. 1987. V. 51. № 14. P. 1069-1071.
Рябцев Н. Г., Кузнецов Ф. А. Металлургия в электронике. - М.: Металлургия, 1970. - 150 с.
Белый В. И., Кузнецов Ф. А., Коковин Г. А. Процессы роста и структура нанокристалических слоев полупроводников. Ч. 1. - Новосибирск: Наука, 1968. - 135 с.
Koyata M., Wittry D. B., Kato T. Propagation of residual dislocations during silicon epitaxy//J. Appl. Phys. 1975. V. 46. № 7. P. 2899-2960.
Стрельченко С. С., Матьяш А. А. Кинетика осаждения эпитаксиальных слоев соединений АIIIBV из газовой фазы: Обзоры по электротехнике. Сер. Материалы. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1979. Вып. 8 (678).
Миркурбанов Х. А. Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов: Автореф. дис…. ... канд. техн. наук. - М.: МИЭТ, 2005.
Физические величины: Справочник/Под ред. И. С Григорьева. - М.: Энергоатомиздат, 1999. - 1200 с.
Справочник "Водород" (свойства, получение, хранение, транспортирование, применение)/Под ред. Д. Ю. Гамбурга. - М.: Химия, 1989. - 350 с.
Варгартик Н. Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. - М.: Наука, 1972. - 720 с.
Бархоткин А. В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов: Автореф. дис.… ... канд. техн. наук. - М.: МИЭТ, 1999. - 23 с.
- Купить
