Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ДВУХМАССОВЫЙ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР
- Авторы
- Погалов А. И. , д-р техн. наук, проф, ,
Красюков А. Ю. , канд. техн. наук, ,
Тихонов Р. Д. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ИЗМЕРЕНИЯ. ИСПЫТАНИЯ. КОНТРОЛЬ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 2 Страницы 100 - 104
- Индекс УДК
- УДК [681.586'3'325 + 531.781.2.084.2].001.5
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены результаты математического моделирования пьезорезистивного двухмассового кремниевого преобразователя ускорения. Рассмотрены вопросы оптимизации конструкции кремниевого преобразователя ускорения по критерию изменения показателя качества при введении упругого элемента между двумя инерционными массами.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Распопов В. Я. Микроэлектромеханические системы. Принципы построения и конструкции акселерометров//Датчики и системы. 2005. № 7. С. 22-33.
Викулин И. М., Стафеев В. И. Физика полупроводниковых приборов. - М.: Радио и связь. 1990. C. 225-230.
Ваганов В. И. Интегральные тензопреобразователи. - М.: Энергоиздат. 1983. - 136 с.
Панкратов О. В., Брехов Р. С., Погалов А. И., Шелепин Н. А. Разработка и исследование интегральных пьезоэлектрических акселерометров//Известия вузов. Электроника. 1997. № 1. С. 57-62.
MultiMEMS Process, Design Handbook, version 3.0, part IIIa, Sensor Nor asa, 2003.
Басов К. А. ANSYS в примерах и задачах. - М.: КомпьютерПресс, 2002.
ISE TCAD Manuals, Release 6.1, Zurich, 1999.
- Купить
