Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МОДЕЛИРОВАНИЕ, ДИНАМИЧЕСКИЙ И ПРОЧНОСТНОЙ АНАЛИЗЫ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ МИКРОСЕНСОРОВ УСКОРЕНИЯ
- Авторы
- Сауров А. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Погалов А. И. , д-р техн. наук, проф, ,
Галушков А. И. , канд. техн. наук, проф, ,
- В разделе
- ИЗМЕРЕНИЯ. ИСПЫТАНИЯ. КОНТРОЛЬ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 2 Страницы 105 - 111
- Индекс УДК
- УДК 681.586.325
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены принципы и методы моделирования пьезорезистивных микросенсоров ускорения инерционного типа с субмикронными размерами. Проведены исследования, а также динамический и прочностной анализы микросенсоров. Установлены закономерности влияния на чувствительность и частотный рабочий диапазон геометрических размеров упругой балки подвески и инерционной массы.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Погалов А. И., Панкратов О. В. Микроэлектронные пьезорезистивные акселерометры//Изв. вузов. Электроника. 2000. № 2. С. 95-102.
Элементы приборных устройств: Учеб. пособие. В 2-х ч. Ч. 2. Приводы, преобразователи, исполнительные устройства/О. Ф. Тищенко, Л. Т. Киселев, А. П. Коваленко и др.; Под ред. О. Ф. Тищенко - М.: Высш. шк. 1982. - 263 с.
Погалов А. И. Обеспечение механической устойчивости радиоэлектронных средств//Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 1997. Вып. 1. С. 20-23.
Алямковский А. А. Solid Works/COSMOS Works. Инженерный анализ методом конечных элементов. - М.: ДМК Пресс. 2004. - 432 с.
Аш Ж. Датчики измерительных систем. Кн. 1. - М.: Мир. 1992. - 480 с.
Вибрации в технике: Справочник. В 6-ти т./Ред. совет: В. Н. Челомей (пред.). - М.: Машиностроение. 1981. Т. 5. Измерения и испытания/Под ред. М. Д. Генкина. 1981. - 496 с.
Тихонов А. И. Принцип совмещения функций в датчиках механических величин//Приборы и системы управления. 1996. № 1. С. 18-21.
- Купить
