Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ИОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ИОННО-ЛУЧЕВЫХ УСТАНОВОК ИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОРМООБРАЗОВАНИИ МИКРОСТРУКТУР
- Авторы
- Фатьянова Г. И. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2007 номер журнала 1 Страницы 12 - 15
- Индекс УДК
- УДК 621.385.833
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлен новый подход к моделированию электрофизических свойств плазмы и ионных потоков в ионно-плазменных установках. Разработаны алгоритм определения потенциала плазмы, а также алгоритм, позволяющий отыскать оптимальные расстояния между отверстиями в электродах, их число и допустимую расфокусировку пучков.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Васичев Б. Н., Фатьянова Г. И., Филачев А. М., Пономаренко В. П. Электронно-ионнно-лучевое оборудование в технологическом процессе изготовления приборов ИК-техники: Тезисы докладов 17-й Межд. науч.-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения. - М.: ФНТЦ ГУП «НПО "Орион"», 2002. С. 81.
Васичев Б. Н., Фатьянова Г. И., Смольянинов В. Д., Потапкин О. Д. Ионно-зондовые системы ионно-лучевых установок//Известия Академии наук. Сер. Физическая. 2002. Т. 66. № 9. С. 1332-1335.
Фатьянова Г. И., Васичев Б. Н. Разработка ионно-лучевой установки - УИЛТ-Э. Труды ИЭИ. -М.: Изд-во Российской экономической академии. 2004. Вып. 4. С. 268-271.
Глазер В. Основы электронной оптики. - М.: Гос. изд-во Технико-теоретической литературы, 1947.
Фатьянова Г. И. Исследование электростатических ионно-оптических систем ионно-лучевых зондовых устройств//Известия Академии наук. Сер. Физическая. 2003. Т. 67. № 9. С. 539-541.
Фатьянова Г. И. Ионно-зондовые системы для ионно-лучевых технологических установок// Прикладная физика. 2003. Вып. 4. С. 49-53.
- Купить
