Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ И СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- Авторы
- Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 4 Страницы 77 - 80
- Индекс УДК
- УДК 621.3.049.77
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены процессы жидкостной химической обработки кремниевых и стеклянных пластин. Представлено использование процессов обработки поверхностей на различных этапах получения элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Приведены результаты исследования стеклянных пластин с металлизированной поверхностью.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Тимошенков С. П., Калугин В. В. Очистка пластин кремния в процессах полупроводникового производства//Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ", 2000. № 2. С. 39-44.
Тимошенков С. П., Рубчиц В. Г., Зотов С. А., Шилов В. Ф., Калугин В. В., Лапенко В. Н., Плеханов В. Е., Тихонов В. А., Максимов В. Н. Микромеханические акселерометры серий АРК и AZ, микромеханические гироскопы серии МГК и системы на их основе: стадия разработки и перспективы: Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. "Датчики и системы-2005". - Пенза, 2005. С. 35, 36.
Тимошенков С. П., Калугин В. В., Прокопьев Е. П. Исследование процессов подготовки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий// Микроэлектроника, 2003. Т. 32. № 6. С. 459-465.
Готра З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. С. 262-290.
- Купить
