Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКАЯ ПОЛИРОВКА КАК МЕТОД АКТИВАЦИИ И ВОССТАНОВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН В ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ"
- Авторы
- Бутывская М. В. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 3 Страницы 57 - 61
- Индекс УДК
- УДК 621.382.002
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследования процесса химико-механической полировки в технологии создания структур "кремний на изоляторе" (КНИ), полученные с помощью ультразвуковой и атомно-силовой микроскопии. Исследования направлены на оптимизацию технологического процесса изготовления структур КНИ, что приведет к снижению стоимости структур.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
- Купить
