Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ФАКТОРОВ НА ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Симонов Б. М. , канд. техн. наук, ,
Бойко А. Н. , науч. сотр, ,
Шилов В. Ф. , с. н. с, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 2 Страницы 7 - 12
- Индекс УДК
- УДК 621.317.39:531.7
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- На основе созданных специальных измерительных схем, позволяющих проводить измерения функциональных параметров и характеристик микромеханических приборов c учетом их специфики, выполнены исследования влияния различных технологических и эксплуатационных воздействий на эти приборы и даны рекомендации по их учету.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Разработка конструкции микромеханического датчика угловой скорости и основных технологических операций его получения: Отчет по НИР/МИЭТ; Рук. С. П. Тимошенков; № ГР 01.2003.03739. - М., 2004.
Duwel A., Gorman J., Weinstein M., Borenstein J., Ward P. Quality Factors of MEMS Gyros and the Role of Thermoelastic Damping//15th IEEE International Conference on Microelectromechanical Systems, January 20-25, 2002. Р. 214-219.
Timoshenkov S., Boiko A., Shilov V., Rubchic V. Investigation of the pressure influence on the characteristics of the silicon micromechanical oscillator, Proc. of Int. Conf. "Micro- and nanoelectronics-2003" (ICMNE-2003), Zvenigorod, 6-10 October, 2003.
Бойко А. Н. Исследование зависимости собственных частот микромеханического осциллятора от давления//Мат. 12-й Всерос. межвуз. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2005". - М.: МИЭТ, 2005. С. 122.
Бойко А. Н. Исследование влияния температуры на функционирование микромеханического вибрационного гироскопа//Мат. 11-й Всерос. межвуз. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2004". - М.: МИЭТ, 2004. С. 114.
- Купить
