Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ НА ИЗГИБНУЮ ЖЕСТКОСТЬ ПОДВЕСА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Зотов С. А. , канд. техн. наук, ,
Рубчиц В. Г. , с. н. с, ,
Воротников А. А. , , ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 2 Страницы 19 - 24
- Индекс УДК
- УДК 621:315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрено влияние поверхностных слоев на изгибную жесткость подвеса чувствительного элемента (ЧЭ) микроэлектромеханических систем (МЭМС). Показано, что для размеров, существующих в МЭМС, необходимо учитывать влияние поверхностных слоев на изгибную жесткость. Приведены аналитические зависимости для расчетов изгибной жесткости подвеса ЧЭ МЭМС с учетом поверхностных слоев.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Тимошенков С. П., Рубчиц В. Г., Зотов С. А., Шилов В. Ф., Калугин В. В., Лапенко В. Н., Плеханов В. Е., Тихонов В. А., Максимов В. Н. Микромеханические акселерометры серии АРК и AZ, микромеханические гироскопы серии МГК и системы на их основе: стадия разработки и перспективы//Тез. докл. Междунар. науч.-техн. конф. "Датчики и системы-2005". С. 35-36.
Климов Д. М., Васильев А. А., Лучинин В. В., Мальцев П. П. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке//Микросистемная техника. 1999. № 1. С. 3-6.
Зотов С. А. Расчет формы деформируемой балки в подвесе микромеханического акселерометра// Известия ТулГУ. Сер. Проблемы специального машиностроения. - Тула, 2001. Вып. 4. С. 154-157.
Рекач В. Г. Руководство к решению задач по теории упругости. - М., 1966. - 227 с.
- Купить
