Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ОПТИМИЗАЦИЯ КОНСТРУКЦИИ САМОСОВМЕЩЕННЫХ СИЛОВЫХ МОП-ТРАНЗИСТОРОВ МЕТОДАМИ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Авторы
- Тихонов Р. Д. , канд. техн. наук, ,
Королев М. А. , д-р техн. наук, проф, ,
Крупкина Т. Ю. , канд. техн. наук, доцент, ,
Швец А. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 2 Страницы 33 - 36
- Индекс УДК
- УДК 621.3.049.77.002
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены результаты разработки методик моделирования и анализа структур силовых МОП-транзисторов с помощью современного пакета программ приборно-технологического моделирования. Оптимизация конструкции самосовмещенных силовых МОП-транзисторов методами приборно-технологического моделирования позволяет учесть влияние технологических факторов на свойства полупроводниковых приборов и сократить затраты на их проектирование.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Миргородский Ю. Н., Тихомиров П. А., Тихонов Р. Д., Матвеев Д. А. Оптимизация технологического маршрута изготовления мощного МОП-транзистора с помощью методов математического моделирования//II Всерос. науч.-техн. конф. "Электроника и информатика-97": Тез. докл. - М.: МИЭТ, 1997. С. 180-181.
Шитиков А. И. Мощные полупроводниковые приборы компании International Rectifier// Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 1997. № 3-4. С. 43-45.
Ueda D., Tagagi H., Kano G. An ultra-low on-resistance power MOSFET fabrication by using a fully self-alligned process// IEEE Trans. Electron Devices. 1987. V. ED-34. P. 926-930.
Королев М. А, Тихонов Р. Д., Швец А. В. Самосовмещенная технология силовых МОП-транзисторов//Тез. докл. на всерос. науч.-техн. конф. "Микро- и наноэлектроника 2001" (МНЭ-2001), Звенигород, октябрь 2001 г.
- Купить
