Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ САМОФОРМИРУЕМЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРНЫХ СТРУКТУР НА КРЕМНИИ. Часть 2 ( Часть 1 опубликована в № 4 за 2005.)
- Авторы
- Сауров А. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Голишников А. А. , канд. техн. наук, ,
Демидова Ю. Б. , канд. техн. наук, ,
Луканов Н. М. , д-р техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 1 Страницы 44 - 49
- Индекс УДК
- УДК 621.3.049.77
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены отдельные критичные узлы в конструкции и технологии изготовления СВЧ самоформируемых субмикронных транзисторных структур на чистом кремнии с низкоомными сплошными скрытыми слоями. Даны пути их решения при использовании новых методов самосовмещения и самоформирования.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
- Купить
