Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ ПРИМЕСЕЙ МЕТАЛЛОВ В СТРУКТУРАХ "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ"
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2005 номер журнала 4 Страницы 89 - 91
- Индекс УДК
- УДК 548.4:621.315.592+536.75
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлена модель процесса геттерирования примесей металлов в структурах "кремний на изоляторе" (КНИ) с учетом "kick-out"-процесса и диссациативного процесса диффузии на примере атомов золота в слоях кремния. Рассмотрены асимптотические случаи процесса геттерирования: низкотемпературный (<1050 °С), при котором процесс определяется диффузией и захватом примесей, и высокотемпературный (>1050 °С), при котором процесс определяется захватом примесей. В этом случае удается получить приближенное аналитическое решение для профиля концентрации примеси в пластине кремния, что дает возможность оценить время и эффективность геттерирования.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Kang U., Schroder D. K.//Appl. Phys. 1989. V. 65. № 3. P. 2974.
Прокопьев Е. П. О геттерировании и синергетическом подходе в проблеме кремния. Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. М., 1991. - 71 с.
Прокопьев Е. П.//Высокочистые вещества. 1992. № 4. С. 47-53.
Marooka M., Yoshida M.//J. Appl. Phys. 1989. V. 29. № 3. P. 457.
Okino T., Yoshida M. //Ibid. V. 28. № 1. P. 86.
Коноплева Р. Ф., Литвинов В. Л., Ухин Н. А. Особенности радиационного повреждения полупроводников частицами высоких энергий. - М.: Атомиздат, 1971.
- Купить
