Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Богонин М. Б. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2005 номер журнала 2 Страницы 54 - 59
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлена разработка математической модели процессов анизотропного травления кремниевых пластин. Несмотря на обилие разнообразных методов травления (электрохимическое, плазмохимическое и т. п.), анизотропное травление актуально и необходимо в технологии изготовления сложно-профильных объемных фигур, используемых для изготовления микроэлектромеханических приборов и систем.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Травление полупроводников: Пер. с англ./ Горина С. Н. - М.: Мир, 1965. С. 61.
Тимошенков С. П., Рубчиц В. Г. Моделирование процесса прецизионного травления вибрационной системы датчика угловой скорости// Конструирование и моделирование. Микросистемная техника. - М., 2002. № 3. - 30 с.
Ваганов В. И. Интегральные пьезопреобразователи. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 45 с.
- Купить
