Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА НИТРИДОВ АЛЮМИНИЯ-ГАЛЛИЯ И ИХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ
- Авторы
- Смирнов В. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2005 номер журнала 1 Страницы 45 - 49
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследований, проведенных методами электронной Оже-спектроскопии и электронно-зондового рентгеновского микроанализа, примесного состава гетероэпитаксиальных слоев нитридов алюминия, галлия, а также состава их твердых растворов в зависимости от условий осаждения. Показана экспериментальная возможность управления примесным составом индивидуальных нитридов и составом твердых растворов за счет изменения режимов осаждения, применения различных вариантов предэпитаксиальной и послеэпитаксиальной обработки.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Добрынин А. В., Смирнов В. В. Термодинамический анализ осаждения из газовой фазы псевдобинарных растворов нитридов алюминия-галлия// Сб. тезисов докладов IV Всесоюз. конф. "Термодинамика и материаловедение полупроводников". - М.: МИЭТ, 1989. Т. 1. С. 190, 191.
Соколов Е. Б., Смирнов В. В. Особенности выращивания твердых растворов AlxGa1-xN и исследование их свойств// Электронная техника. Сер. Материалы. 1989. № 7(244). С. 16-20.
Handbook of Auger electron spectroscopy/ L. E. Davis, N. C. McDonald, P. M. Palmbery et al. - Eden Praure. 1978. - 252 p.
Баровский Н. В., Найда Г. А., Смирнов В. В. Азотирование поверхности подложек Al2O3 при эпитаксии нитридов// Материалы VI Междунар. науч.-техн. конф. "Высокие технологии в промышленности России". - М.: ЦНИТИ "Техномаш", 2000. С. 47-51.
Смирнов В. В., Найда Г. А., Баровский Н. В. Особенности гетероэпитаксии нитридов алюминия и галлия на сапфире// Изв. вузов. Электроника. 2001. № 5. С. 17-22.
Шувалов Л. А., Урусовская А. А., Желудев И. С. Современная кристаллография. Физические свойства кристаллов. - М.: Наука. 1981. - 495 с.
- Купить
