Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ДОЗАТОРЫ МАЛЫХ РАСХОДОВ ГАЗА С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ И МИКРОМЕХАНИЧЕСКИМИ ЭЛЕМЕНТАМИ
- Авторы
- Тимофеев В. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Сажнев С. В. , канд. техн. наук, ,
Фомичев М. А. , , ООО "Союзпроектстрой",
- В разделе
- ИЗМЕРЕНИЯ. ИСПЫТАНИЯ. КОНТРОЛЬ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
- Ключевые слова
- Год
- 2005 номер журнала 1 Страницы 84 - 90
- Индекс УДК
- Удк 681.12.8
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведен анализ конструкций современных дозаторов малых расходов газа. Показана перспективность разработки дозаторов на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС), позволяющих значительно уменьшить габариты и время отклика. Сравниваются МЭМС зарубежные и CMOS-технологии изготовления микрорасходомеров. Определены преимущества CMOS-технологии, открывающей возможность создания приборов с высокими точностью дозирования и чистотой газового потока.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Дубовой Н. Д., Дударев Д. А. Анализ и перспективы развития современных газовых расходомеров// Средства контроля и измерения. 1998. № 1-2.
Henning A. K., Harris J. M., Pearlstein R., Hertzler B. Contamination reduction using MEMS-based, high-precision mass flow controllers// Proceedings, SEMICON West Symposium on Contamination Free Manufacturing for Semiconductor Processing. - SEMI, Mountain View, CA, 1998.
Кремлевский П. П. Расходомеры и счетчики количества. - Л.: Машиностроение, 1989. - 700 с.
Сажнев С. В., Миркурбанов Х. А., Тимофеев В. Н. Прецизионный термоконвективный регулятор расхода газа для технологического оборудования// Средства контроля и измерения. 2003. № 2.
Соколов Г. А., Беляев Д. В., Обновленский П. А. Тепловой расходомер с применением полупроводниковых терморезисторов// Известия вузов. Приборостроение. 1973. № 8.
Коротков П. А., Беляев Д. В., Рукин Я. В. Тепловой неконтактный расходомер с полупроводниковым нагревателем// Там же. 1965. № 4.
Xie Y., Shih Y., Tai Yu-C. Intergated surface-micromachined mass flow controller: Reprint-California Institute of Technology, Caltech. Micromachining Lab., Electrical Engineer 136-93, 2003.
Liu C., Huang J-B., Zhu A., Jiang F., Tung S., Tai Y-C, Ho C-M. A Micromachined Flow Shear Stress Sensor based on Thermal Transfer Principles// J. Microelectrimech-syst., 1999. V. 8. № 1. P. 90-99.
Yoshino T., Suzuki Y., Kasagi N., Kamiunten S. Optimum disign of micro termal flow sensor and its evaluation in wall stress measurements: Reprint-MEMS-03. - Kyoto, Japan, 2003. Jan. 19-23.
CMOSens PerformanceLine Mass Flow Controller for Gases// www.sensirion.com <http://www.sensirion.com> Preliminary Information. 2003. July. V. 1.4.
Wong Victor T.S., Li Wen J. Bullk carbon nanotues as sensing element for tempereture and anemometery micro sensing, Centre for Micro and Nano Systems. - The Chinese University of Hong Kong, HKSAR, Published in IEEE MEMS 2003. 2003. January.
- Купить
