Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАЗРАБОТКА ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ ВОДОРОДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ПРОТОНОВ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ В ЦЕЛЯХ СОЗДАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Графутин В. И. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Захаров А. А. , , ,
Лапицкий Ю. Я. , канд. техн. наук, ,
Стасевич Б. Ю. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 4 Страницы 45 - 49
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Продолжена разработка нового модифицированного импульсного источника ионов водорода для проведения работ в области радиационной физики и имплантации протонов в пластины большого диаметра в smart-cut технологии сращивания стандартных пластин кремния и других полупроводников с целью производства структур "кремний на изоляторе" и других многослойных структур.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Суворов А. Л., Графутин В. И., Залужный А. Г., Козодаев М. А., Прокопьев Е. П., Шарков Б. Ю., Чаплыгин Ю. А., Тимошенков С. П., Реутов В. Ф. Технология сращивания пластин кремния с использованием химической сборки поверхности методами молекулярного наслаивания и газового скалывания// Атомная энергия. 2001. Т. 91. Вып. 4. С. 255-263.
Богданович Б. Ю., Графутин В. И., Калугин В. В., Нестерович А. В., Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Чаплыгин Ю. А. Технологии и методы исследования структур кремний на изоляторе. - М.: МИЭТ, 2003. - 288 с.
Суворов А. Л., Графутин В. И., Залужный А. Г., Козодаев М. А., Калугин В. В., Прокопьев Е. П., Шарков Б. Ю., Чаплыгин Ю. А., Тимошенков С. П. Физико-химические основы получения структур кремний на изоляторе с использованием метода газового скалывания//Перспективные материалы. 2002. № 3. С. 5-12.
Лапицкий Ю. Я. Усовершенствование электростатического инжектора протонного синхротрона на 70 ГэВ и разработка импульсных протонных источников с большим током: Дис.… … канд. техн. наук. - М., 1971. С. 58, 75.
Ауслендер В. Л., Лазарев. В. Н., Панфилов А. Д. Приборы и техника эксперимента. 1979. № 4. С. 33.
Богданович Б. Ю., Нестерович А. В., Тимошенков С. П., Графутин В. И., Прокопьев Е. П., Алферов П. В., Калугин В. В., Лапицкий Ю. Я., Стасевич Б. Ю. Возможности создания источников ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра в целях создания многослойных структур//Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ". 2004. № 1. С. 55-61.
- Купить
