Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ПРОБЛЕМА ЧИСТОТЫ ГАЗОВОГО ПОТОКА В РАСХОДОМЕРАХ НА БАЗЕ MEMS-ТЕХНОЛОГИИ
- Авторы
- Тимофеев В. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Сажнев С. В. , канд. техн. наук, ,
Фомичев М. А. , , ООО "Союзпроектстрой",
- В разделе
- ХИМИЯ. ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ. ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 4 Страницы 68 - 71
- Индекс УДК
- УДК 681.12.8
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрена генерация частиц в магистрали и расходомерах как основной фактор, определяющий чистоту потока газа, и приведены механизмы генерации частиц. В качестве возможных источников загрязнения обсуждены материалы, используемые в процессе изготовления расходомеров, и конструктивные особенности датчиков. Приведены результаты тестов по комплексной оценке загрязнения потока различными расходомерами.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Henning A. K., Harris J. M., Hertzler В., Pearlstein R. Contamination reduction using MEMS-based, high-precision mass flow controllers; In Proceeding Semicon West Symposium on Contamination Free Manufacturing for Semiconductor Processing (SEMI Mountain View, CA, 1998).
Williams K., Muller R. Etch rates for micromachining processing// IEEE J. Microelectromech Syst. 5. 1996. Р. 256-269.
Dehan E., Henning A., Arcilic E., Harros Y. Evaluating the use of MEMS-based gas and fluid delivary systems// www.micromagazin.com/ MICRO July-August 98 Ultrapure Materials Delivery by Edward B_ Dehan, (p_101).htm
Xie Y., Shihand Y., Tai Yu-C. Integrated surface-micromachined mass flow controller; reprint-California Institute of Technology, Caltech. Micromachining Lab., Electrical Engineer 136-93, 2003.
Yoshino Т., Suzuki Y., Kasagi N., Kamiunten S. Optimum disign of micro termal flow sensor and its evaluation in wall stress measurements; reprint-MEMS-03, Kyoto, Japan, Jan. 19-23, 2003.
Henning A. K., Fitch Y. S., Harris J. M., Dehan E. B., Cozad B. F., Christel L, Fathi J., Hopkins D. A., Lilly, McCulley W., Weber W. A., Zdeblik M. Microfluidic MEMS for semiconductor processing// IEE Trans. Components, Packaging and Manufacturing Technology, B21. 1998. Ð. 329 -337.
CMOSens PerformanceLine Mass Flow Controller for Gases// www.sensirion.com Preliminary Information July 2003 VI.4.
Bang С. A. New approach to MEMS fabrication// www.sensorsmag.com.
Renard S., Gaff V. The romise of generic micromachining techology of MEMS// www.sensorsmag.com.
Yason S. W., Halvajian H., Brener K. MEMS, Microengineering and Aerospace Systems; reprint-American Institute of Aeronautics and Astronautics, 1999 (AIAA99-3802).
MEMS-FlowTM Ultra-Clean Pressure-Based Mass Flow Controller (Preliminary Report): Performance, Quality and Reliability; September, 2000 (Copyright, Redwood MicroSystems, Inc. 2000).
- Купить
