Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- СРЕДСТВА И МЕТОДЫ ТЕСТОВОГО КОНТРОЛЯ ПРИ РАЗРАБОТКЕ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА СО СХЕМОЙ ФОРМИРОВАНИЯ СИГНАЛА НА ОДНОМ КРИСТАЛЛЕ
- Авторы
- Шелепин Н. А. , д-р техн. наук, ,
Балашова Г. И. , , ,
Рапидов М. О. , , ,
- В разделе
- ИЗМЕРЕНИЯ. ИСПЫТАНИЯ. КОНТРОЛЬ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 4 Страницы 82 - 87
- Индекс УДК
- УДК 681.586:621.38.049.77
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- На примере интегрированного тензорезистивного акселерометра показаны возможности изготовления в одном полупроводниковом кристалле объемных чувст-1 вительных элементов со схемами обработки сигнала. Приведены результаты иссле-1 дования экспериментальных образцов с использованием разработанных средств тестового контроля, обеспечивающих оперативность корректировки схемотехнических и технологических решений.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Полупроводниковые пьезорезистивные датчики давления// Зарубежная техника. 1990. № 4.
Каляев И. А. и др. Микроэлектронные сенсорные системы: опыт создания и применения// Сенсоры и системы. 1999. № 23.
Шелепин Н. А. Кремниевые МЭМС, основные направления и возможности развития на базе отечественной микроэлектронной технологии// Сб. мат. XIV науч.-техн. конф. "Датчик-2002". - М.: МТИЭМ, 2002. С. 159-160.
Балашова Г. И., Галушков А. И. Исследование влияния процесса постпрофилирования кремния на электрофизические параметры элементной базы микроэлектронных тензопреобразователей// Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: XI науч.-техн. конф. Тез. докл. - Гурзуф, 23-30 мая 1999. С. 73.
Кузнецов Е. В., Рыбачек Е. Н. Влияние способа очистки поверхности контактных окон в диэлектрике на величину контактного сопротивления сток-истоковых областей КМОП-схем// Электроника и информатика-2002: IV междунар. науч.-техн. конф. Тез. докл. Ч. 1. - М., 2002. С. 92-93.
Панкратов О. В., Погалов А. И., Шелепин Н. А. Кремниевые пьезорезистивные акселерометры// Сб. мат. XIV науч.-техн. конф. "Датчик-2002". - М.: МГИЭМ, 2002. С. 160-161.
Булгаков С. С, Десятое Д. Б., Еремин С. А., Сысоев В. В. Автоматизированный тестовый контроль производства БИС. - М.: Радио и связь, 1992.
Рапидов М. О., Гнатюк Н. 3. Автоматизированный контроль электрических параметров аналоговых элементов СБИС без применения специализированного измерительного оборудования// Основные результаты исследований разработок (1988-1998). - М.: НПК "Технологический центр" МИЭТ, 1998. С. 105-113.
- Купить
