Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ВОЛНОВОДНЫЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ И ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ НА ЕГО ОСНОВЕ
- Авторы
- Смирнов В. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ, МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 3 Страницы 8 - 14
- Индекс УДК
- УДК 621.315.59
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Волноводно-оптическим методом проведены исследования показателя преломления и толщины слоев нитрида алюминия и твердых растворов. Показано, что наблюдающееся изменение показателя преломления связано с качеством слоев и коррелирует с содержанием в них кислорода. В предположении линейной зависимости показателя преломления от состава рассчитаны необходимые для поддержания заданной моды концентрации галлия в растворе; обоснована возможность реализации и исследован планарный волновод, поддерживающий не более двух-трех мод различной поляризации. Отмечено влияние ориентации слоя нитрида на уровень потерь.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Введение в интегральную оптику / Под ред. Барноски. - М.: Мир, 1978. - 344 с.
Иевлев В. М., Трусов Л. И., Холмянский Л. И. Структурные превращения в тонких пленках. - М.: Металлургия, 1988. - 325 с.
Фольмер М. Кинетика образования новой фазы. - М.: Наука, 1986. - 205 с.
Чернов А. А., Гиваргизов Е. И., Багдасаров Х. С. Современная кристаллография. Образование кристаллов. - М.: Наука, 1980. Т. 3. - 407 с.
Ganshin V. A., Korkishko Yu. N. Deformation, stresses and birefringence in proton exchanged lithium niobate waveguides // J. of Opt. Comm. 1992. V. 13. № 1. Р. 2-7.
Соколов Е. Б., Смирнов В. В., Добрынин А. В. Анализ методов получения полупроводниковых нитридов // Сб. Матер. и технологич. процессы микроэлектроники. - М.: МИЭТ, 1988. С. 109-116.
Смирнов В. В., Соколов Е. Б. Особенности выращивания твердых растворов AlxGa1-xN и исследование их свойств // Электронная техника. Сер. Материалы. 1989. № 7 (244). С. 16-20.
- Купить
