Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИЗУЧЕНИЕ ПРОТОНИРОВАННЫХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА СТРУКТУР КНИ, МЕТОДОМ ПОЗИТРОННОЙ АННИГИЛЯЦИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Графутин В. И. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Фунтиков Ю. В. , , ,
Илюхина О. В. , канд. физ.-мат. наук, ,
Мясищева Г. Г. , канд. физ.-мат. наук, ,
Богданович Б. Ю. , д-р физ.-мат. наук, проф, ,
Дягилев В. В. , канд. техн. наук, ,
Нестерович А. В. , д-р физ.-мат. наук, проф, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 3 Страницы 37 - 43
- Индекс УДК
- УДК 539.124.6
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- На основании ранее предложенной теории позитронных состояний в кремнии, облученном протонами, получена формула для определения средних концентраций радиационных дефектов.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Арефьев К. П., Воробьев С. А., Прокопьев Е. П. Позитроника в радиационном материаловедении ионных структур и полупроводников. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 88 с.
Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Графутин В. И., Мясищева Г. Г., Фунтиков Ю. В. Позитроника ионных кристаллов, полупроводников и металлов. - М.: Ред.-изд. отдел МИЭТ, 1999. - 176 c. (см. также http://www.prokopep.narod.ru).
Grafutin V. I., Prokop'ev E. P., Novikov Yu. A., Shantarovich V. P. Application of positronic annihilation spectroscopy for study in solids. Report on 4-th Moscow International ITEP School of Physics Modern Condensed Matter Physics: Experimental Methods and Devices, Related Topics. Zvenigorod, Moscow, February 5-16, 2001. Proceedings of the 4th Moscоw International ITEP School of Physics. - М.: Академпринт, 2002. C. 207.
Графутин В. И., Прокопьев Е. П. Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии для изучения строения вещества // Успехи физических наук. 2002. Т. 172. № 1. C. 67.
Арифов П. У., Арутюнов Н. Ю., Прокопьев Е. П. и др. Квантовые свойства атомов и ионов и позитронная диагностика. - Ташкент: ФАН, 1975. - 272 c.
Арефьев К. П., Арифов П. У., Прокопьев Е. П. и др. Позитронсодержащие системы и позитронная диагностика. - Ташкент: ФАН, 1978. - 192 c.
Прокопьев Е. П. Введение в теорию позитронных процессов в полупроводниках и ионных кристаллах. - М., 1979. - 384 с. Деп. в ЦНИИ "Электроника". Р-2837. МРС ВИМИ "Техника, технология, экономика". 1980. № 27. Сер. "ЭР"
Бартенев Г. М., Цыганов А. Д., Прокопьев Е. П., Варисов А. З. Аннигиляция позитронов в ионных кристаллах // Успехи физических наук. 1971. Т. 103. № 2. С. 339.
Бартенев Г. М., Варисов А. З., Гольданский В. И., Прокопьев Е. П., Цыганов А. Д. Определение эффективных зарядов анионов в средах ионного типа позитронным методом // Успехи химии. 1972. Т. 41. № 4. С. 585.
Прокопьев Е. П., Шантарович В. П. Квантовополевая теория позитронных состояний в твердых телах, содержащих электроны, позитроны, дырки, экситоны, атом позитрония и комплексы Уилера // Химия высоких энергий. 1996. Т. 30. № 4. С.3 00.
Богданович Б. Ю., Графутин В. И., Калугин В. В., Нестерович А. В., Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Чаплыгин Ю. А. Технологии и методы исследования структур кремний на изоляторе. - М.: МИЭТ, 2003. - 288 с.
Суворов А. Л., Графутин В. И., Залужный А. Г., Козодаев М. А., Прокопьев Е. П., Шарков Б. Ю., Чаплыгин Ю. А., Тимошенков С. П., Реутов В. Ф. Технология сращивания пластин кремния с использованием химической сборки поверхности методами молекулярного наслаивания и газового скалывания//Атомная энергия. 2001. Т. 91. № 4. С. 255.
Аравин Л. Г., Новиков Ю. А., Филимонов М. К., Шантарович В. П. Применение метода позитронной аннигиляции для исследования тонких пленок // Поверхность. Физика, химия, механика. 1997. № 4. С. 77.
Прокопьев Е. П. Применение метода функций Грина к исследованию позитронных процессов в кристаллах // Поверхность. 1995. № 7-8. С. 5.
Варисов А. З., Кузнецов Ю. Н., Прокопьев Е. П., Филипьев А. И. Физика и химия превращений позитронов и позитрония в полимерах // Успехи химии. 1980. Т. 50. № 4. С. 1892.
Графутин В. И., Прокопьев Е. П., Мясищева Г. Г., Фунтиков Ю. В. Особенности механизма аннигиляции позитронов в металлах // Физика твердого тела. 1999. Т. 41. № 6. С. 529.
Wheeler J. A. Polyelectron systems // Ann. N.Y. Acad. Sci. 1946. V. 48. № 1. P. 219.
Ferrante G. Annihilation from Positronium Negative Ion e-e+e- // Phys. Rev. 1968. V. 170. № 1. P. 76.
Прокопьев Е. П. Позитронные состояния в реальных кристаллах кремния // Украинский физический журнал. 2000. Т. 45. № 7. С. 881.
Прокопьев Е. П. О возможном спектре позитронных состояний в бездефектных кристаллах кремния // Химическая физика. 1999. Т. 18. № 5. С. 45.
Прокопьев Е. П. Позитронные состояния в кремнии. - М., 1989. Деп. в ЦНИИ "Электроника". Р-5154.
Прокопьев Е. П. Исследование кремния, содержащего дефекты структуры и кислород, методом аннигиляции позитронов. - М., 1989. Деп. в ЦНИИ "Электроника". Р-5172.
Dannefaer S. The study of defects in semiconductors by positron annihilation // Phys. status solidi (a). 1987. V. 102. № 2. Р. 481.
Dannefaer S., Mascher P., Kerr D. The investigations of silicon by positron annihilation methods // Phys. Rev. Lett. 1986. V. 56. № 20. Р. 2195.
Brandt W. Positron dynamics in solids // Appl. Phys. 1974. V. 5. № 1. P. 1.
Seeger A. The study of defects in crystals by positron annihilation // Ibid. 1974. V. 4. № 4. P. 183.
Гольданский В. И., Прокопьев Е. П. Позитронные состояния в идеальных ионных кристаллах // Физика твердого тела. 1971. Т. 13. № 10. С. 2955.
Батавин В. В., Дружков А. П., Гарнак А. Е., Мокрушин А. Д., Прокопьев Е. П., Хашимов Ф. Р. Исследование дефектов в эпитаксиальных структурах кремния, возникающих в процессе термообработки, методом аннигиляции позитронов // Микроэлектроника. 1980. Т. 9. С. 120-122.
- Купить
