Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ФОРМИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ МАЛОГО СЕЧЕНИЯ С ЭНЕРГИЕЙ ОКОЛО 100 эВ В РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ, ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ВЫЧИСЛИТЕЛЯХ И УСТРОЙСТВАХ НАНОТЕХНОЛОГИИ
- Авторы
- Фатьянова Г. И. , канд. техн. наук, ,
Васичев Б. Н. , д-р физ.-мат. наук, проф, ,
Махов Д. Ю. , , ,
Куликов Ю. В. , доцент, ,
Гореликов А. В. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 3 Страницы 49 - 52
- Индекс УДК
- УДК 621.385.833
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены результаты исследования низковольтных электронно-оптических систем, формирующих электронные пучки малого сечения с энергией до 100 эВ. В процессе проведенных исследований рассмотрены два альтернативных варианта: с торможением электронов в зазоре магнитной линзы и с торможением электронов перед объектом.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
- Купить
