Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЯ ДИЭЛЕКТРИКА НА МЕТАЛЛИЧЕСКОМ ОСНОВАНИИ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОФОРЕЗА
- Авторы
- Борисов А. Г. , канд. техн. наук, доцент, ,
Чиликина Т. Д. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 1 Страницы 61 - 65
- Индекс УДК
- УДК 621.2.049; 776.002
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены теоретические основы процесса формирования слоя диэлектрика на металлическом основании методом электрофореза в реальных технологических условиях и на основании этого предложены кинетические зависимости формирования слоя в гальваностатическом и потенциостатическом режимах. Отдельно проанализированы наиболее часто встречающийся в технологии вариант нанесения диэлектрика на вертикально расположенное основание и влияние седиментации дисперсной фазы в процессе нанесения на изменение толщины слоя по высоте основания. Предложенный в работе подход к описанию кинетических особенностей образования осадка при электрофорезе позволил связать технологические параметры процесса (физико-химические свойства суспензии, геометрические размеры металлического основания, рабочее напряжение и ток в электрофоретической ячейке) с толщиной, пористостью и временем нанесения диэлектрического слоя и тем самым сделать выводы о возможных путях оптимизации процесса.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Борисов А. Г., Петрова В. З., Чиликина Т. Д. и др. Металлические подложки с диэлектрическим покрытием для толстопленочных ГИС//Электронная промышленность. 1986. Вып. 6. С. 5-8.
Петрова В. З., Чиликина Т. Д., Чиликина М. В. Взаимодействие алюминия со стеклом при формировании многослойных структур металл-стекло//Известия вузов. Сер. Электроника. 2003. ¹ 4. С. 33-36.
Susman A., Ward T. J. Electrophoretic deposition oi coatins from glass-isopropanol slurries//RCA Rev. 1981. V. 42. ¹ 2. P. 178-197.
4. Практикум по коллоидной химии и электронной микроскопии/ Под ред. С. С. Воюцкого и Р. Н. Пановой. - М., Химия, 1974.
- Купить
