Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МОДЕРНИЗАЦИЯ СКРУББЕРА СКГАП-30-001 С ЦЕЛЬЮ ЭКОЛОГИЗАЦИИ ПРОЦЕССА ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ КРЕМНИЯ
- Авторы
- Каракеян В. И. , д-р техн. наук, проф, ,
Арутюнова А. К. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2004 номер журнала 1 Страницы 65 - 67
- Индекс УДК
- УДК 504.3.064.3
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлен модернизированный скруббер типа СКГАП-30-001, предназначенный для обезвреживания в процессе эпитаксии паров хлористого водорода. Данный скруббер обеспечивает эффективное улавливание хлористого водорода (до 99,99 %). Пропускание через скруббер 20-25 кг газообразного тетрахлорида кремния в течение 23-25 ч не приводит к заметному отложению кремнегеля внутри скруббера и увеличению его общего сопротивления газовому потоку из эпитаксиальной установки. При интенсивной круглосуточной работе эпитаксиальной установки скруббер обеспечивает безостановочную ее работу не менее трех суток в экологически чистом режиме.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Сборник методик по определению концентраций загрязняющих веществ в промышленных выбросах. - Л.: Гидрометеоиздат, 1987. - 269 с.
ПНДФ 12.1.1-99. Методические рекомендации по отбору проб при определении концентраций вредных веществ (газов и паров) в выбросах промышленных предприятий. - М.: Химавтоматика, 1990. - 12 с.
- Купить
