Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКОГО РАЗЛОЖЕНИЯ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В ЦЕЛЯХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК СОЕДИНЕНИЙ А3В5
- Авторы
- Травкин Н. Н. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 4 Страницы 60 - 65
- Индекс УДК
- УДК39.23:621.315.6
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Исследовано термическое разложение металлорганических соединений (МОС): алкильных соединений галлия, индия, сурьмы, мышьяка и триалкильных комплексов галлия с мышьяком. Определены температуры разложения МОС с образованием элементов. Найдено, что термораспад триалкальных комплексов галлия с мышьяком протекает через стадию образования диалкильных комплексов. Предложен механизм соединений. Показано, что триалкильные комплексы и триалкильные соединения элементов 3-й и 5-й групп периодической системы элементов Д. И. Менделеева при их совместном термическом разложении могут быть использованы для получения полупроводниковых пленок соединений А3В5 и твердых растворов на их основе.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Травкин Н. Н., Грибов Б. Г., Румянцева В. П., Козыркин Б. И., Саламатин Б. А. Термическое разложение бис-ареновых соединений хрома//Журнал общей химии. 1970. Т. 40. № 2. С. 2677-2679.
Травкин Н. Н., Грибов Б. Г., Румянцева В. П., Тоноян И. Г., Зорина Е. Н. Термическое разложение алкильных соединений галлия//Там же. 1975. Т. 45. № 2. С. 316-319.
Травкин Н. Н., Скачков Б. К., Тоноян И. Г., Козыркин Б. И. Термическое разложение алкильных соединений индия и сурьмы//Там же. 1978. Т. 48. № 12. С. 2678-2681.
Рохов Ю., Херд Д., Льюис Р. Химия металлоорганических соединений. Изд. ИЛ, 1963.
Jacko M. J., Price S. J. W. The pirolysis of trimetil gallium. Canad//J. Chem. 1963. V. 41. № 6. Р. 1560-1567.
Травкин Н. Н. Механизм процесса синтеза полупроводниковых соединений А3В5 при термическом разложении металлоорганических соединений в газовой фазе//7-я конференция по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок. - г. Новосибирск, 9-13 июля 1986 г. Тезисы докладов. Т. 3. С. 31-32.
Beachley O. T., Coates G. E. The reactions of trimetil-aluminum, gallium and indiym with some primary and secondary phosphines and arsines//J. Chem. Sos. 1965. P. 3241-3247.
Разуеваев Г. А., Грибов Б. Г., Домрачев Г. А., Саламатин Б. А. Металлоорганические соединения в электронике. - М.: Наука, 1972.
- Купить
