Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ СЕРИЙ МТА И АВИ
- Авторы
- Погалов А. И. , д-р техн. наук, проф, ,
Панкратов О.В. , , ,
- В разделе
- ИЗМЕРЕНИЯ. ИСПЫТАНИЯ. КОНТРОЛЬ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 4 Страницы 89 - 92
- Индекс УДК
- УДК 621.382.002:531.76
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Разработаны и освоены в опытном производстве микроакселерометры с использованием пьезорезистивного принципа преобразования для измерения вибрационных и ударных ускорений. Рассмотрены общие принципы проектирования, результаты инженерного анализа и испытаний микроакселерометров. Представлены их основные технические характеристики.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Погалов А. И., Панкратов О. В. Микроэлектронные пьезорезистивные акселерометры// Известия вузов. Электроника, 2000. № 2. С. 95-102.
Погалов А. И., Панкратов О. В. Разработка моделей микросенсоров ускорения// Межвуз. сб. науч. тр. "Научные основы технологий материалов, приборов и систем электронной техники". - М.: МИЭТ, 2002. С. 211-216.
Панкратов О. В., Брехов Р. С., Погалов А. И., Шелепин Н. А. Разработка и исследование интегральных пьезорезистивных микросенсоров//Известия вузов. Электроника. - М.: МИЭТ. № 1. С. 57-61.
Панкратов О. В., Погалов А. И., Шелепин Н. А. Микроэлектронные датчики ускорения// Сб. матер. Х юбилейной науч.-техн. конф. "Датчик-98". - М.: МГИЭМ, 1998. С. 244-246.
Панкратов О. В., Погалов А. И., Шелепин Н. А. Кремниевые пьезорезистивные акселерометры// Сб. матер. конф. "Датчик-2002". - М.: МГИЭМ, 2002. С. 160-161.
- Купить
