Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАЗДЕЛЕНИЕ ОРГАНИЧЕСКИХ СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИХ ДИОДОВ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ
- Авторы
- Кондратенко Владимир Степанович vsk1950@mail.ru, зав. кафедрой, Московский государственный университет приборостроения и информатики, Россия Тел. 8 (499) 269-46-66
Борисовский Владимир Евгеньевич borisovskiyi_ve@mgupi.ru, д-р техн. наук; профессор, Московский государственный университет приборостроения и информатики, Москва, Россия Тел. 8 (499) 269-46-66
Иванов Владимир Игоревич ivi061@gmail.com, аспирант, Московский государственный университет приборостроения и информатики, Москва, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- лазерное управляемое термораскалывание / органические светоизлучающие диоды / кремний / резка кремниевых подложек на кристаллы
- Год
- 2014 номер журнала 2 Страницы 76 - 81
- Индекс УДК
- 621.373.8
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлен высокоэффективный технологический процесс прецизионной резки кремниевых подложек в производстве микродисплеев на органических светоизлучающих диодах (ОСИД), базирующийся на применении метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ). Обоснована возможность и эффективность применения ЛУТ в технологии ОСИД. Рассмотрена лазерная установка РТ-350 для резки полупроводниковых приборных пластин на кристаллы методом ЛУТ.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Патент 2024441 РФ, МКИ5 СО3 В 33/02. Способ резки хрупких материалов / В. С. Кондратенко. 1991.
Kondratenko V., Gindin P., Tchernykh S. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices// Phys. Stat. Sol. (c). 2003. No. 7. Р. 2232-2235.
Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Гиндин П.Д., Наумов А.С., Сек-Джун Ли. Разработка технологии лазерного управляемого термораскалывания плоских дисплейных панелей // Приборы. 2005. № 4 (58). С. 35 - 38.
Кондратенко В. С., Гиндин П. Д., Борисовский В. Е., Колесник В. Д., Сорокин А. В. Российские высокие технологии в производстве приборов микро- и оптоэлектроники // Интеграл. 2008. № 6 (208). С. 8-9.
Кондратенко В. С. Высокоэффективный метод лазерного управляемого термораскалывания хрупких материалов // Там же. 2006. № 2 (280). С. 22-23.
- Купить
