Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
- Авторы
- Травкин Н. Н. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 2 Страницы 20 - 24
- Индекс УДК
- УДК 539.23:621.315.6
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведено исследование термического разложения композиций на основе бис-ареновых соединений хрома и алкоголятов Nb, Ta, V, Ti, Si и Al. Показано, что при термораспаде этих композиций могут быть получены металлодиэлектрические пленки с сопротивлением 0,1-500 кОм/€ и температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) (+44)¸(-800)×10-6 1/град. Исследованы структура и состав полученных пленок. Установлено, что полученные покрытия представляют собой металлодиэлектрические пленки состава Cr-MxOy , где: M - Nb, Ta (x = 2, y = 5), V, Ti, Si (x = 1, y = 2) и Al (x = 2, y = 3). Изучены электрофизические свойства пленок и показано, что они могут быть использованы для производства высокоомных постоянных и переменных резисторов.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Гальперин Б. С. Непроволочные резисторы. - Л.: Энергия, 1968.
Мартюшов К. И., Зайцев Ю. В. Резисторы. - М. - Л.: Энергия, 1966.
Бехтев Л. Г., Коробов А. И., Травкин Н. Н., Грибов Б. Г., Румянцева В. П. Применение метода термического разложения элементоорганических соединений при изготовлении элементов пленочных микросхем// Электронная техника. Сер. Материалы, 1969. Вып. 8. С. 124-127.
Разуваев Г. А., Грибов Б. Г., Домрачев Г. А., Саламатин Б. А. Металлоорганические соединения в электронике. - М.: Наука, 1972.
Травкин Н. Н., Грибов Б. Г., Румянцева В. П., Козыркин Б. И., Саламатин Б. А. Термическое разложение бис-ареновых соединений хрома// Журнал общей химии. 1970. Т. 40. № 2. С. 2677-2679.
Грибов Б. Г., Травкин Н. Н., Румянцева В. П. Термическое разложение иодиодов бис-ареновых соединений хрома: Докл. АН СССР. 1969. Т. 187. № 2. С. 330-331.
Травкин Н. Н., Хашимов Ф. Р., Грибов Б. Г., Галкин Б. Д., Румянцева В. П., Коновалов Г. С. Исследование структуры, состава пленок хрома и молибдена, полученных термическим разложением металлоорганических соединений// Электронная техника. Сер. Материалы. 1972. № 1. С. 129.
- Купить
