Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- НОВЫЕ РАЗРАБОТКИ В ОБЛАСТИ КРЕМНИЕВОЙ СЕНСОРОЭЛЕКТРОНИКИ
- Авторы
- Зиновьев Д. В. , канд. техн. наук, ,
Тузовский К. А. , канд. техн. наук, ,
Андреев В. М. , д-р техн. наук, проф, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 2 Страницы 46 - 49
- Индекс УДК
- УДК36.5
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Статья является продолжением серии публикаций, посвященных разработке термосенсоров на основе монокристаллических чувствительных элементов оригинальной конструкции. Проанализированы причины, тормозящие внедрение микроэлектроники в эту сферу, и предложен новый прием повышения точности в серийном производстве без индивидуальной подстройки. Приведены примеры термосенсоров с чувствительными элементами нового поколения, отличающиеся высокими быстродействием (до 1 кГц), точностью и технологичностью.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Middlehoek S. Silicon sensors// Measurement Science and Technology, 1995. ¹ 6. Ð. 1611-1658.
Зиновьев Д. В., Павленко Е. Ю., Андреев В. М. и др. Исследование теплопередачи средствами микроэлектроники// Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника, 1999. Вып. 1. С. 70-72.
Зиновьев Д. В., Тузовский К. А., Павленко Е. Ю. Монокристаллическая кремниевая фольга и ее применение// Там же, 1997. Вып. 1. С. 11-14.
Бочкарев Э. П., Зиновьев Д. В., Андреев В. М., Тузовский К. А. Эффект гигантской теплоотдачи телами субмиллиметровых размеров: Докл. АН РФ, 1999. Т. 366. № 2. С. 178-180.
Lammerink M., Elwenspoek M., Ouwerkerk R. V. et al. Performance of thermally excited resonators. Sensors and Actuators, A21-A23. 1990. Р. 352-356.
Зиновьев Д. В., Андреев В. М. Быстродействующий терморезистор-микронагреватель// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М., 2001. № 3. С. 23-26.
Аш Ж. с соавторами. Датчики измерительных систем: Кн. 2. - М.: Мир, 1992.
- Купить
