Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ КАНТИЛЕВЕРОВ ДЛЯ МАГНИТНОЙ СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
- Авторы
- Рощин В. М. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ, МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 1 Страницы 3 - 6
- Индекс УДК
- УДК 621.315.61+621.793
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведены исследования пассивирующих свойств сверхтонких пленок углерода и оксида алюминия для магнитных кантилеверов сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ). Определено, что такие защитные покрытия существенно увеличивают срок службы кантилеверов при одновременном повышении их разрешающей способности.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Binnig G., Quate C. F. and Gerber Ch. Atomic force microscope// Phys. Rev. Lett. 1986. № 56 (9). Р. 930-933.
Яминский И. В., Тишин А. М. Магнитно-силовая микроскопия поверхности// Успехи химии. 1999. V. 68. № 3. P. 187-193.
Рощин В. М., Шевяков В. И., Федоров И. А. Повышение функциональных свойств кантилеверов для магнитной силовой микроскопии// Материалы Всерос. науч.-техн. конфер. "Микро- и наноэлектроника-2001". г. Звенигород, п. "Липки", 1-5 октября 2001. С. 1-61.
Touryanski A. G., Pirshin I. V., Argunova T. S., Roshchin V. M. Two-Wave Refractometry of Surface Layers// 5-th Biennial Conference on High Resolution X-ray Diffraction and Topography, 13-15th September 2000, Ustron-Jaszowiec, Poland. Programme and Abstracts. P. 1-13.
Рощин В. М. Импульсное осаждение дуговой электроэрозионной плазмы в технологии наногетерогенных структур// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ". 2002. № 3. С. 10-13.
Рощин В. М., Чмырова О. Л., Лемешко С. В., Шевяков В. И. Методика определения толщины сверхтонких пленок с использованием СЗМ// Известия вузов. Сер. Электроника, 2001. С. 100-101.
- Купить
