Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАСЧЕТ ИНТЕНСИВНОСТИ ВЫБРОСА ЗАГРЯЗНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТАМИ ТРАНСПОРТИРУЮЩЕГО УСТРОЙСТВА С КОЛЕСНЫМ НОСИТЕЛЕМ НА ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ТРАССЕ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
- Авторы
- Гребенкин В. З. , д-р техн. наук, проф, ,
Аккулов Р. И. , канд. техн. наук, ,
Кобзев С. П. , , ,
Андренюк В. А. , , ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ, МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2003 номер журнала 1 Страницы 7 - 14
- Индекс УДК
- УДК 628.8:621.3.049.77.02
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены расчетные зависимости для определения интенсивности выбросов загрязнений в паре "ведущее звено - направляющая" колесных носителей для межоперационного перемещения пластин при производстве изделий электронной техники, необходимые для оценки целесообразности назначения основных параметров транспортирующего устройства с учетом критериев минимальной привносимой дефектности.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Гребенкин В. З., Андренюк В. А. Выбор рационального транспортирующего средства и геометрии пространственной трассы для перемещения полупроводниковых пластин при производстве ИС// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 1999. № 3. С. 32-35.
Булынко Б. И., Лобиков Л. В., Ращинский В. П. и др. Автоматизированная транспортная система// Электронная промышленность, 1981. № 10. С. 41-43.
Васильченко Н. В., Ивашов Е. Н., Ковалев Л. К. и др. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства электронной техники. В 2-х томах. Т. 2. - Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм. акад., 1996. - 416 с.
Гребенкин В. З., Редин В. М., Сахаров Е. А. и др. Исследование пылегенерации кинематическими парами в транспортирующих устройствах ГАЛ при межоперационных перемещениях полупроводниковых пластин/ Сборник научных трудов "Обеспечение и контроль чистых помещений и технологических сред в производстве изделий микро- и радиоэлектроники"/ Под ред. Блинова И. Г. - М.: МИЭТ, 1989. С. 73-80.
Пронин Б. А. Клиноременные и фрикционные передачи и вариаторы. - М: Машгиз, 1960. - 334 с.
Гребенкин В. З., Андренюк В. А. Выбор параметров колесного носителя полупроводниковых пластин при производстве ИС по критерию минимума выбросов загрязнений// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 2000. № 3. C. 3-7.
Гребенкин В. З., Андренюк В. А. Параметры силового взаимодействия колес носителя с пространственной направляющей// Там же. 2001. № 2. C. 3-7.
Крагельский И. В., Добычин М. Н., Комбалов В. С. Основы расчетов на трение и износ. - М.: Машиностроение, 1977. - 526 с.
Дмитриев В. А. Детали машин. - Л.: Судостроение, 1970. - 792 с.
Гребенкин В. З., Андренюк В. А. Определение сопротивлений передвижению межоперационного колесного носителя по пространственной трассе при производстве изделий электронной техники// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 2001. № 3. C. 5-10.
- Купить
