Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ НАНОТЕХНОЛОГИИ
- Авторы
- Вигдорович Виленин Наумович vilenin@yandex.ru, д-р техн. наук, профессор, главный научный сотрудник, Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Марков Федор Васильевич f.markov@bk.ru, канд. техн. наук, зав. лабораторией, Московский институт электронной техники (Технический университет), Москва, Россия
Садыков Эркин , канд. техн. наук; доцент, зав. кафедрой "Телекоммуникационные системы", Ошский государственный университет, г. Ош, Кыргызстан
Ташполотов Ысламидин itashpolotov@rambler.ru, д-р техн. наук; профессор, декан физико-технического факультета, Ошский государственный университет, г. Ош, Кыргызстан
- В разделе
- ОБЩИЕ ВОПРОСЫ
- Ключевые слова
- нанотехнология / реактор / жидкофазная эпитаксия / тепловая эффузия / гетероструктура
- Год
- 2014 номер журнала 3 Страницы 77 - 80
- Индекс УДК
- 539.293: 620.3
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрен способ жидкофазной эпитаксии с использованием тепловой эффузии, являющейся более простой и достаточно дешевой современной технологией получения полупроводниковых гетерокомпозиций, которая может использоваться для создания высококачественных структур как для физических исследований, так и для приборных применений.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Щука А. А. Наноэлектроника. - М.: Физматкнига, 2007. - 464 с.
Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю. А. Чаплыгина. - М.: Техносфера, 2005. - 448 с.
Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы/Под. ред. В. В. Лучинина, Ю. М. Таирова. - М.: Физматлит, 2006. - 552 с.
Белявский В. И. Физические основы полупроводниковой нанотехнологии // Соросовский образовательный журнал. 1998. №10. C. 92-98.
Нашельский А. Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1987. - 334 с.
Ruda H., Becla P., Lagowski S. et al. Mercury pressure-induced LPE growth of HgCdTe // J. Electrochem. Soc. 1983. V. 130. No. 1. P. 228.
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры / Л. Эсаки, Б.А. Джойс, Р. Хекингботтом и др.; Под ред. Л. Ченга, К. Плога / Пер. с англ. А. Я. Шика; Под ред. Ж. И. Алферова, Ю. В. Шмарцева. - М.: Мир, 1989. - 582 с.
Херман М. А. Полупроводниковые сверхрешетки. - М.: Мир, 1989. - 238 с.
Вигдорович В. Н., Гогохия В. Г., Садыков Э. Эффект температурноградиентной разности давлений и регулирование давления насыщенного пара над разлагающимися веществами // Теоретические основы химической технологии. 1990. Т. 24. № 1. С. 48-53.
- Купить
