Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАЗРАБОТКА ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С РЕАКТОРОМ ПОШТУЧНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК
- Авторы
- Погалов Анатолий Иванович dtm@miee.ru, д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой "Техническая механика", Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-85-71
Кравченко Анатолий Анатольевич dtm@miee.ru. el_kon@inbox.ru, канд. техн. наук; доцент кафедры "Техническая механика", Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-85-71
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- эпитаксия / разработка / эпитаксиальное оборудование / реактор поштучной обработки подложек / технические характеристики / компьютерное моделирование
- Год
- 2015 номер журнала 2 Страницы 55 - 58
- Индекс УДК
- 621.723.162: [621.793.06: 004.94]
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены обзор рынка эпитаксиального оборудования и перспективы разработки российского оборудования, а также результаты моделирования технических характеристик процесса эпитаксии.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
http: //www.gartner.com/newsroom/id/2794317.
http: //www.gartner.com/newsroom/id/2717917.
Кравченко А. А., Погалов А. И., Тимофеев В. Н. Исследование и моделирование газодинамических характеристик эпитаксиального реактора // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: 2013. № 4. С. 14-17.
Емельянов В. А. Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев / В. А. Емельянов, А. А. Турцевич, О. Ю. Наливайко. - Минск: Белорус. Наука, 2007. - 255 с.
Кравченко А. А., Миркурбанов Х. А., Тимофеев В. Н. Перспективы создания и использования российской эпитаксиальной установки индивидуальной обработки пластин большого диаметра / VII Международная конференция "Кремний 2010". - Нижний Новгород, 2010.
- Купить
