Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- МАГНИТОМЯГКИЕ ПЛЕНКИ ПЕРМАЛЛОЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ХЛОРИДНОГО ЭЛЕКТРОЛИТА
- Авторы
- Тихонов Роберт Дмитриевич R.Tikhonov@tcen.ru, канд. техн. наук; старший научный сотрудник, ФГУ НПК"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Поломошнов Сергей Александрович ps@tcen.ru, канд. техн. наук, старший научный сотрудник, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Горелов Дмитрий Викторович , аспирант, инженер 1-й категории, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Казаков Юрий Владимирович , младший научный сотрудник, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Амеличев Владимир Викторович , канд. техн. наук; начальник отдела, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Николаева Наталия Наумовна , начальник участка химии, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
- В разделе
- ХИМИЯ. ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ. ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
- Ключевые слова
- пермаллой / концентраторы магнитного поля / электрохимическое осаждение / хлоридный электролит
- Год
- 2015 номер журнала 4 Страницы 26 - 31
- Индекс УДК
- 621.3.049.77.002
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Проведено сравнение структуры, состава и магнитных свойств пленок пермаллоя, полученных электрохимическим осаждением из сульфатного и хлоридного электролитов. Установлена связь параметров пленок с температурой, рН электролита и плотностью катодного тока. Показано преимущество хлоридного электролита без щелочных добавок при электрохимическом осаждении пленок пермаллоя для толстопленочных концентраторов магнитного поля в интегральных микросистемах.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Амеличев В. В., Аравин В. В., Белов А. Н., Красюков А. Ю., Резнев А. А., Сауров А. Н. Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в беспроводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 3. С. 29-33.
Wurz M. C., Dinulovic D., Gatzen H. H. Investigation of permeability on electroplated and sputtered permalloy // Institute for Microtechnology Hanover University// Proc. 8th Int. Symposium on Materials, Processes and Devices, 206th Meet. Of The Electrochemical Society. - Honolulu, Hawaii, USA, 2004. P. 526-536.
Вячеславов П. М. Осаждение сплавов. - Л.: Машиностроение, 1977. - 96 с.
Беленький М. А., Иванов А. Ф. Электроосаждение металлических покрытий справочник. - М.: "Металлургия", 1985. - 500 с.
Beltowska-Lehman E., Indyka P. Electrodeposition and characterization of thin magnetic Ni-Fe films on copper substrates // Archives of metallurgy and materials. 2008. V. 53. I. 1. Р. 97-101.
Горбани М., Цолати А. Г., Афшар А. Электроосаждение сплавов Ni-Fe в присутствии комплексообразователей // Электрохимия. 2002. Т. 38. № 11. С. 1299-1304.
Leith S. D., Ramli Sh., Schwartz D. T. Characterization of NixFe1-x (0.1<x<0.95) Electrodeposition from a Family oа Sulfamate-Chloride Electrolytes// Journal of the Electrochemical Society. 1999. V. 146. I. 4. Р. 1431-1435.
Тихонов Р. Д., Черемисинов А. А., Генералов С. С., Горелов Д. В., Поломошнов С. А., Казаков Ю. В. Получение концентраторов магнитного поля с помощью электрохимического осаждения пермаллоя // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 3. С. 51-57.
Гальванотехника. Справочник / Под редакцией А. М. Гинберга, А. Ф. Иванова, Л. Л. Кравченко. - М.: Металлургия, 1987. - 735 с.
Амеличев В. В., Галушков А. И., Касаткин С. И., Муравьев А. М., Пудонин Ф. А., Чаплыгин Ю. А., Шубин С. В. Биполярный магнитотранзистор с многослойным пермаллоевым концентратором магнитного поля // Датчики и системы. 1999. № 3. C. 14-18.
- Купить
