Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- НОВЫЕ АСПЕКТЫ В ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕМЕНТОВ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
- Авторы
- Грачёв Владимир Иванович vlgrachev@mail.ru, д-р воен. наук, д-р техн. наук; генеральный директор, главный конструктор, Научно-производственная компания "АВЕРС", Москва, Россия
Марголин Владимир Игоревич v.margolin@mail.ru, д-р техн. наук; профессор кафедры "Микрорадиоэлектроника и технология радиоаппаратуры", Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", Санкт-Петербург, Россия
Тупик Виктор Анатольевич VATupik@etu.ru, д-р техн. наук; заведующий кафедрой "Микрорадиоэлектроника и технология радиоаппаратуры", Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", Санкт-Петербург, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- проекционная электронно-лучевая литография / электронная маска / вторичная ионно-электронная эмиссиия / нанолитография / фрактальные пленки
- Год
- 2017 номер журнала 2 Страницы 63 - 66
- Индекс УДК
- 621.375
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассматриваются проблемы применения методов вторичной ионно-электронной эмиссии для передачи изображения в системах проекционной электронно-лучевой литографии для реализации фрактальных антенн на основе пленок с фрактальной структурой. Приводятся результаты экспериментальных исследований и анализа литературы. Обосновывается перспективность метода.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Потапов А. А., Гильмутдинов А. Х., Ушаков П. А. Системные принципы и элементная база фрактальной радиоэлектроники Ч. I. Этапы становления и состояние // Радиотехника и электроника. 2008. Т. 53. № 9. С. 1-46.
Аpифов У. А., Рахимов Р. Р., Джаpакулов Х. Электpонная эмиссия гpаней (110) и (111) монокpисталла Мо пpи бомбаpдиpовке ионами и атомами гелия и аpгона: сб. "Втоpично-эмиссионные и стpуктуpные свойства твеpдых тел". - Ташкент: изд-во Фан. 1970.
Грачёв В. И., Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. Основы синтеза наноразмерных частиц и пленок. - Ижевск: Удмуртия, 2014. С. 179-231.
Жабрев В. А., Мамыкин А. И., Марголин В. И. и др. Возможность применения процессов ионно-электронной эмиссии в микро- и нанолитографии: сб. научных трудов и инженерных разработок "Ориентированные фундаментальные исследования - федеральные целевые программы, наукоемкое производство" / Под ред. Фролова К. В. - М.: "Эксподизайн", 2007. С. 156-159.
- Купить
