Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Оценка влияния деятельности предприятия, производящего фотошаблоны, на окружающую среду
- Авторы
- Егоркина Регина Юрьевна regina.egorkina@bk.ru, канд. техн. наук, эколог, ООО "Радис Лтд", Москва, Россия Тел. 8 (499) 732-68-86
Севрюкова Елена Александровна melaly@rambler.ru, доцент, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-87-33
- В разделе
- ЭКОЛОГИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ, ПРОГНОЗИРОВАНИЕ
- Ключевые слова
- атмосфера / воздух / чистое помещение / фотошаблон
- Год
- 2012 номер журнала 4 Страницы 32 - 34
- Индекс УДК
- УДК 504.054
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Дана оценка воздействия на окружающую среду производства фотошаблонов для интегральных микросхем (ИМС). Выполнен расчет приземных концентраций с использованием программного комплекса "Призма". Рассчитан параметр, характеризующий величину выбрасываемого вещества по десяти загрязняющим веществам. Проведен анализ результатов рассеивания приземных концентраций загрязняющих веществ на границе санитарно-защитной зоны.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Аваков С. М., Карпович С. Е., Овчинников В. А., Титко Е. А., Трапашко Г. А. Оптико-механические комплексы для бездефектного изготовления фотошаблонов 0,35 мкм и 90 нм // Фотоника. 2007. № 6. С. 35-37.
Методика расчета концентраций в атмосферном воздухе вредных веществ, содержащихся в выбросах предприятий: ОНД-86. - Л.: Гидрометеоиздат, 1987. - 84 с.
Санитарно-защитные зоны и санитарная классификация предприятий, сооружений и иных объектов: СанПиН 2.2.1/2.1.1.1200-03. 2008. - 29 с.
Гигиенические нормативы. Предельно допустимые концентрации (ПДК) загрязняющих веществ в атмосферном воздухе населенных мест: ГН-2.1.6.1338-03 и дополнения к ним. 2003. - 54 с.
Гигиенические нормативы. Ориентировочные безопасные уровни воздействий (ОБУВ) загрязняющих веществ в атмосферном воздухе населенных мест: ГН-2.1.6.1339-03 и дополнения к ним. 2003. - 107 с.
- Купить
