Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИЗМЕРЕНИЯ И ВИЗУАЛИЗАЦИЯ ВОЗДУШНЫХ ПОТОКОВ В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- Авторы
- Севрюкова Елена Александровна melaly@rambler.ru, доцент, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-87-33
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- коагуляция / аэрозоль / воздух / измерение / контроль / концентрация / помещение / размер
- Год
- 2012 номер журнала 2 Страницы 18 - 20
- Индекс УДК
- УДК 53.083.8:53.089.5;539.1.074
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрен метод визуализации воздушных потоков с помощью компьютерного моделирования, с учетом расположения оборудования, перемещений персонала, точек пробоотбора в чистых помещениях микроэлектроники.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Т. фон Кальден. Визуализация воздушных потоков <http://clri.ru/ftpgetfile.php?id=54> // Чистые помещения и технологические среды. 2006. № 2. С. 7-11.
Фукс Н. А. Механика аэрозолей. - М.: АН СССР, 1955. - 351 с.
- Купить
