Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- АНАЛИЗ ИЗМЕНЧИВОСТИ АЭРОЗОЛЯ ПРИ ИЗМЕНЕНИИ ВЛАЖНОСТИ И ВЫЯВЛЕНИЕ НЕБЛАГОПРИЯТНЫХ ЗОН В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- Авторы
- Севрюкова Елена Александровна melaly@rambler.ru, доцент, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-87-33
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- коагуляция / аэрозоль / воздух / измерение / контроль / концентрация / помещение / размер
- Год
- 2012 номер журнала 2 Страницы 30 - 33
- Индекс УДК
- УДК 53.083.8:53.089.5;539.1.074
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены результаты экспериментальных исследований поведения аэрозоля в чистом помещении микроэлектроники с учетом расстановки технологического оборудования, поведения персонала, при изменении параметров микроклимата (температуры и влажности).
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Фукс Н. А. Механика аэрозолей. - М.: АН СССР, 1955. - 351 с.
Калечиц В. И. Приборы для измерения частиц в нанотехнологиях <http://clri.ru/ftpgetfile.php?id=152>// Чистые помещения и технологические среды. 2010. № 1. С. 39-47.
- Купить
