Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АГЛОМЕРАЦИИ НАНОЧАСТИЦ ПРИ ИЗМЕНЕНИИ ВЛАЖНОСТИ В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- Авторы
- Севрюкова Елена Александровна melaly@rambler.ru, доцент, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-87-33
Каракеян Валерий Иванович zelikar@mail.ru, д-р техн. наук; профессор, Национальный исследовательский университет"МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 732-76-32
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- наночастицы / НЕРА-фильтры / коагуляция / аэрозоль / воздух / измерение / контроль / концентрация / помещение / прибор / размер / счетчик
- Год
- 2011 номер журнала 3 Страницы 56 - 58
- Индекс УДК
- УДК 53.083.8:53.089.5;539.1.074
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведены результаты экспериментальных исследований поведения наночастиц в чистом помещении микроэлектроники при работе HEPA-фильтра в различных пространственных направлениях, а также изменения концентрации наночастиц при изменении параметров микроклимата (температуры, влажности).
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Калечиц В. И. Приборы для измерения частиц в нанотехнологиях <http://clri.ru/ftpgetfile.php?id=152>// Чистые помещения и технологические среды. 2010. № 1. С. 39-47.
Фукс Н. А. Механика аэрозолей. - М.: АН СССР, 1955. - 351 с.
- Купить
