Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Миниатюрная система вакуумной откачки электронно-зондовых устройств
- Авторы
- Васин Владимир Анатольевич vasichtv@yandex.ru; vacuumwa@list.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3. Тел. (495) 235-64-35
Васичев Борис Никитович vasichtv@yandex.ru; vacuumwa@list.ru, профессор, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3. Тел. (495) 235-64-35
Степанчиков Сергей Валентинович vasichtv@yandex.ru; vacuumwa@list.ru, доцент, докторант, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3. Тел. (495) 235-64-35
- В разделе
- ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
- Ключевые слова
- электронно-зондовые устройства / микросистемная электронно-лучевая техника / миниатюрная откачная система / безкорпусные вакуумные клапаны / миниатюрные вакуумные клапаны / насос на основе сплава накопителя водорода / сильфонный насос / сильфонно-поршневой насос / мембранный насос
- Год
- 2010 номер журнала 3 Страницы 132 - 139
- Индекс УДК
- УДК 621.235.015
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены перспективы создания миниатюрных электронно-зондовых устройств с использованием миниатюрных элементов вакуумной электроники. Представлены результаты проектирования и исследования миниатюрных базовых элементов электронно-оптических систем и откачных вакуумных средств. Рассмотрены принципиально новые подходы к проектированию миниатюрных электронно-оптических и вакуумных систем, позволяющие перейти к практическому использованию низковольтной техники, обеспечивающей снижение радиационной нагрузки на объект при высокой разрешающей способности, а также переход к технологии вакуумной микросистемной техники. Приведены новые миниатюрные системы вакуумной откачки для использования в данных устройствах.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Васичев Б. Н., Розенфельд Л. Б., Михальцов Е. Н.//Прикладная физика. 1996. № 3. С. 28-37.
Васичев Б. Н., Розенфельд Л. Б., Михальцов Е. Н.//Там же. 1997. № 2-3. С. 166-168.
Васичев Б. Н.//Там же. 2000. № 2. С. 73.
Васичев Б. Н.: Тез. докл. ХХ Российской конф. по электронной микроскопии. - Черноголовка. 2004. С. 78.
Васичев Б. Н. Анализ электронно-оптических систем с позиций волновой модели электрона. Поверхность. - М.: Наука, 2005. С. 78.
Tuggle W., Swanson L. W.//J. Vac. Sci. Technol. 1985. No. B3 (1). Р. 220.
Tuggle W. et al.//Journal of Microscopy. 1985. No. 140. Р. 293.
Васичев Б. Н. Моделирование элементов вакуумной электроники с позиций волновой электронной оптики: Матер. XIII науч.-техн. конф. "Вакуумная наука и техника", октябрь 2006. С. 20-24.
Васин В. А.: Пат. на изобретение 2275541.
Александрова А. Т., Васин В. А. и др.: Пат. на изобретение 2251024.
Ануфриева И. В., Васин В. А. и др.: Пат. на изобретение 2260712.
Александрова А. Т., Васин В. А. и др.: Пат. на изобретение 2263820.
Александрова А. Т., Васин В. А. и др.: Пат. на полезную модель 38750.
Кеминов В. Н., Горюнов А. А. Васин В. А.: Пат. на полезную модель 48206.
Васин В. А.: Пат. на изобретение 2267648.
Васин В. А.: Пат. на изобретение 219121.
Васин В. А.: Пат. на изобретение 2191922.
- Купить
